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6月23日,知名原子力显微镜(AFM)制造商Park原子力显微镜公司(Park Systems Inc.)宣布推出高分辨率、自动化原子力显微镜新品——Park NX-TSH,据介绍,Park NX-TSH的龙门架设计平板式探针扫描器专为最新一代显示器工厂的应用需求研发设计。另外,其模块化设计还可在提供样品3D形貌的同时提供微区电流测量。

产品研发背景:迎合OLED新兴市场带来照明和屏幕技术的需求

有机发光二极管(OLED)技术由于其扁平、薄如纸、柔韧性,并且具有漫射光的能力,该技术有望在未来几年显著推动市场增长。

数据显示,OLED面板市场在2020-2025年期间将以12.9%的复合年增长率增长,到2025年将达到455.5亿片。尽管受全球新型冠状病毒疫情影响而总体上将出现小幅下滑,但业内专家仍预计OLED面板将成为全球采用的一种重要的显示技术趋势,且屏幕尺寸将更大,分辨率将提高到8K,并将具有新的外形规格。

为了迎合OLED市场的需求,原子力显微镜制造商Park 原子力显微镜开发了Park NX-TSH,扩大了其Gen8 +和所有大型平板显示器的AFM工具。为制造下一代平板显示器制造商而开发,以克服300 mm样品尺寸的限制。

尖端扫描头(TSH)是一种自动移动的扫描头,适用于对OLED,LCD,光子学用于大样品进行工业AFM测量,用于大样品分析。自动的尖端扫描头采用气载台技术,可将x,y,z扫描仪直接移动到基板上的所需位置。

“Park NX-TSH专为生产制造下一代平板显示器的半导体厂(fab)开发设计,并克服了300 mm的门槛限制,”Park市场部副总裁Keibock Lee说道。

自动化的Park NX-TSH系统通过龙门式尖端扫描仪系统克服了纳米计量学的挑战,该系统可直接移动到样品上的某个位置,并生成粗糙度测量,台阶高度测量,临界尺寸和侧壁测量的高分辨率图像。

Park NX-TSH可以在x,y和z方向上扫描针尖,最大扫描方向为100 µm x 100μm(x-y方向),z方向为15μm,并具有灵活的卡盘,可容纳大型和重型样品。随着对更大尺寸的平板显示器的需求增加到65英寸,75英寸甚至更多。Park NX-TSH通过自动尖端扫描系统克服了这些挑战,而在龙门式尖端扫描仪系统中克服了纳米计量学的挑战。

Park NX-TSH专为Gen8+和所有大平板显示器研发,不仅能够进行纳米级尺寸测量,也可进行微区电性测试。同时,Park NX-TSH还可以兼容多种型号机械手臂,实现自动化测量。

该全自动Park NX-TSH系统专为超大样品量身订造,扫描器可以固定在龙门架上,并能提供高分辨率的粗糙度测量,步长测量,临界尺寸和侧壁测量。

Park NX-TSH将样品固定在样品卡盘上,连接到机架的尖端扫描头移动到表面样品的测量位置。这也使得Park NX-TSH尖端扫描头系统克服了样品尺寸和重量的限制。

原子力显微镜是一种准确、无损的纳米级样品测量方法,使用Park NX-TSH,可以在龙门式桥架上的OLED,LCD等上获得可靠的高分辨率AFM图像,从而系统的提高生产率和质量。

值得关注的是,Park 原子力显微镜参加了6月27日-29日上海新国际博览中心举办的Semicon China,并在展位E7549上现场演示新品Park NX-TSH和NX-Photomask,并将在稍后举行的SEMICON West展会上进行线上产品展示秀。

关于Park原子力显微镜

Park原子力显微镜公司是目前世界上发展最快的原子力显微镜(AFM)制造商之一,为化学、材料、物理、生命科学、半导体和数据存储行业的研究人员和工程师提供了一系列完整的产品。 Park的客户包括20多家全球最大的半导体公司,以及亚洲、欧洲和美洲的国立研究型大学。Park 原子力显微镜是韩国证券交易所(KOSDAQ)的上市公司,公司总部位于韩国水原,地区总部位于美国加州圣克拉拉、德国曼海姆、中国北京、日本东京、新加坡和墨西哥墨西哥城。

Park News - Press Release | Park Atomic Force Microscope