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专为超大纳米平板显示器测量而设计的自动化原子力显微镜(AFM)系统

随着对大型平板显示器原子力显微镜计量需求的增加,Park NX-TSH 通过利用探针扫描器和龙门式气浮台的结合,克服了针对大型和重型样品进行纳米计量的巨大挑战。


Park NX-TSH能获得关于表面粗糙度,台阶高度,关键尺寸和侧壁信息的高分辨率图像和数据,从而为大型纳米级尺寸样品测量提供完美解决方案

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Park NX-Wafer

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Park NX-TSH - Overview | Park Atomic Force Microscope