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晶圆厂唯一具有自动缺陷检测的原子力显微镜

 

全自动原子力显微镜解决了缺陷成像和分析问题,缺陷检测生产率提升了1000%

Park的智能ADR技术提供全自动的缺陷检测和识别,使得关键的在线过程能够通过高分辨率3D成像对缺陷类型进行分类并找出它们的来源。智能ADR专门为半导体工业设计提供最先进的缺陷检测解决方案,具有自动目标定位,且不需要经常损坏样品的密集参考标记。与传统的缺陷检测方法相比,智能ADR过程提高了1000%的生产率。此外,Park具有创新性的True-Contact™模式AFM技术,使得新的ADR有能力提供高达20倍的更长的探针寿命。

用于精确、高吞吐量CMP轮廓测量的低噪声原子力轮廓仪

工业领先的低噪声Park原子力显微镜(AFM)与长距离滑动台相结合,成为用于化学机械抛光(CMP)计量的原子力轮廓仪(AFP)。新的低噪声AFP为局部和全面均匀性测量提供了非常平坦的轮廓扫描,具有最好的轮廓扫描精度和市场可重复性。这保证了在宽范围的轮廓量程上没有非线性或高噪声背景去除的精确高度测量。

超高精度和最小化探针针尖变量的亚埃级表面粗糙度测量

晶圆的表面粗糙度对于确定半导体器件的性能是至关重要的。对于最先进的元件制造商,芯片制造商和晶圆供应商都要求对晶圆上超平坦表面进行更精确的粗糙度控制。通过提供低于 0.5 Å的业界最低噪声,并将其与真正的非接触式模式相结合,Park NX-Wafer能够可靠地获得具有最小针尖变量的的亚埃级粗糙度测量。Park的串扰消除还允许非常平坦的正交XY扫描,不会有背景曲率,即使在最平坦的表面上,也不需过多考虑扫描位置、速率和大小。这使得其非常精确和可重复地对微米级粗糙度到长范围不平整表面进行测量。

Park NX-Wafer

Park NX-Wafer

 

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Park Wafer - Overview | Park Atomic Force Microscope