ELECTRIFIED BY AFM! – 研究から産業へのバーチャルツアー

AFMによる電気特性計測に関するオンラインコースにご参加ください。

2020年4月から5月にかけてのライブウェビナーと電気特性モードの応用ライブデモを主としたライブオンラインツアーに参加できなかった方でも、心配無用です！ここでは、行われたすべてをオンデマンドで視聴することができます。

バーチャルツアーには、サイドバンドKPFM、アドバンスPFM、SCMにおける進歩に関するウェビナーのほかに、AFMの自動化による学術および産業研究の品質と生産性の向上方法に関する３つのデモセッションも含まれています。

タイトルをクリックするだけでオンデマンドの録画を視聴できます。

パート I　 NextGen電気特性モード

カレントおよび新規の強誘電体および半導体アプリケーションにフォーカスしている学術や産業研究では、デバイスの特性評価のために高解像度の電気的イメージングが必要です。電気特性原子間力顕微鏡モードには、ケルビンプローブ顕微鏡法（KPFM）、走査型キャパシタンス顕微鏡法（SCM）、圧電力顕微鏡法（PFM）があり、ナノスケールの電気的および電気機械的特性を視覚化し、それにより、故障解析、デバイス最適化、および新規の材料調査に重要な洞察を提供します。

KPFMは、薄膜およびデバイス内部構造のポテンシャルや仕事関数の分布を画像化します。信頼できる定量的ポテンシャルマップを研究者に提供するには、サイドバンドKPFMを介して達成される高いポテンシャル分解能が必要です。チップと試料間の静電容量の局所的な変化を検出することにより、SCMは半導体デバイスのドーピングプロファイルを視覚化します。これを使用して、欠陥のあるデバイス構造を特定したり、新しいレイアウトを特徴づけることができます。PFMは、結晶構造の局所的な圧電応答をマッピングする電気機械特性をプローブします。ただし、PFM信号はチップとサンプル間の接触機構に強く依存しているため、デュアル周波数共振トラッキングを含むさまざまな測定モードは、PFM応答を強化および安定化できます。

弊社掲載中のウェビナーシリーズのパート１では、上記の手法をパーク・システムズのNX20原子間力顕微鏡を使って紹介、実演をしております。

こちらのウェビナー動画をご覧ください：

アプリケーションノート：