Park AFM ナノメカニカルモード

ピンポイント™ナノメカニカルモードでは、ナノメカニカル特性の最高の解像度と精度を実現します。剛度、弾性率、粘着力をリアルタイムで同時に取得できます。XYスキャナが停止している間、接触力、先端と試料間の接触時間を明確に制御することで高速度フォースカーブが得られます。データを取得する時間を制御できることから、ピンポイント™ナノメカニカルモードでは、様々な試料の表面において高いS/N比で最適化されたナノメカニカル測定を行うことができます。

Video: Characterizing Multicomponent Polymer with PinPoint™ AFM

[高さ]

[粘着力]

[モジュラス]

フォースディスタンス（F-d）カーブは、Zスキャナを伸縮させながらチップと試料表面の間における垂直方向の相互作用を測定する技術です。カンチレバーのゆがみの働きに対する圧電スキャナの拡張は、表面の機械的特性を反映するチップとサンプルの相互作用力を直接測定します。

力対距離曲線から測定できる様々な弾性特性

サンプルの弾力の振幅と位相のイメージング

弊社のFMMモードは、サンプルの表面全体の機械的特性の変化を測定します。サンプル表面に接触している間にAC変調がカンチレバーに反映されるため、振幅と位相の変化をモニタリングし、定性的な弾性応答と粘性応答の洞察を得ることができます。

[トポグラフィー]/[FMM位相]

摩擦力マッピング

Pパーク・システムズのAFMは、カンチレバーの垂直方向の歪みを検出できるだけでなく、横方向にも検出でき、摩擦力顕微鏡でのイメージングを可能にします。

クローズドループスキャンシステムを使用した高度なベクターナノリソグラフィ

ナノリソグラフィモードでは、電圧を加えてサンプル表面を操作し、パターンを作成できます。独自のベクター図面またはラスター（ビットマップ）イメージをインポートすることで、リソグラフィの先端位置を簡単に制御できます。

チップ（a）で表面と衝突し、バイアス（b）を適用して表面を酸化させることにより、パターンが表面上に作成されます。

ベクトルナノリソグラフィ。このイメージは、-5～-10Vの負の電圧を印加することによりベクトルにて出力されます。スキャン速度は1～0.1 μm/sの間で変化し、堆積した酸化物の高さは約2～4nmです。

弊社のナノインデンテーションモードでは、カンチレバーに過度の力を加えることでサンプルをインデントし、硬度や弾性などの機械的特性を測定します。

ナノインデンテーションは、圧子の先端をサンプルに押し込むことにより、局所領域の硬度を測定します。