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당사가 과학기술정보통신부와 한국과학기술기획평가원이 10월29일 선정한 ‘2020년 국가연구개발 우수성과 100선’에 이름을 올렸습니다.

‘우수성과 100선’ 중 분야별 12건을 최우수성과로 선정하는데 당사는 ‘반도체 공정에서 새로운 솔루션을 제공하는 나노계측 기술 개발’로 기계·소재 분야 최우수성과에 꼽혔습니다.

당사가 개발한 기술은 수십 나노 이하 초미세 반도체 공정에 솔루션을 제공하는 인라인 자동화 원자현미경으로 반도체 계측 검사 자동화 장비 최초로 순수 국산 기술로 구축 되었으며 장비 도입과 검증이 까다로운 반도체 업계에 성공적으로 진출하여 세계 주요 반도체 업체에서 사용되고 있습니다.

과제를 주도한 조상준 응용기술센터장은 “수행 연구과제가 국가연구개발 우수성과로 선정된 만큼 원자현미경이 신기술 개발과 신산업 창출에 핵심장비로 활용되어 우리나라가 나노계측분야의 선진국으로 가는 첫걸음이 되길 바란다”고 밝혔습니다.

‘우수성과 100선’은 과학기술의 역할에 대해 국민들의 이해와 관심을 제고하고 과학기술인들의 자긍심을 높이기 위해 2006년부터 매년 선정해 오고 있습니다.

올해는 정부지원을 받아 수행한 2019년 약 7만 여 연구개발(R&D) 과제 중, 각 부‧처‧청이 추천한 총 780건의 후보성과 중 과학기술개발 및 경제사회적 파급효과를 평가해 최종 100건의 우수성과를 선정하였습니다.

Park News - Press Release | Park Atomic Force Microscope