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< Park NX-Wafer 반도체 산업용 자동 원자 현미경>

당사는 9월 15일 대만의 글로벌 파운드리 업체와 산업용 원자현미경에 대한 제품 납품 계약을 체결하였습니다.

이번에 납품된 제품은 당사의 대표 장비인 NX-Wafer로서, Wafer Level의 Roughness와 Chip의 3D 구조를 측정하고 CMP후 Profile을 측정 및 분석할 수 있는 완전 자동화 장비입니다. 본 장비는 SoIC 및 COW 패키징 공정에 납품된 첫 장비로서 고객사의 Fab에서 시험 검증을 성공적으로 마치고 정식 PO 및 매출로 전환되었으며, 파운드리 고객사의 패키징 공정에서 선폭 검측용으로 사용될 것입니다.

그 동안은 선폭이 넓어 나노단위 계측이 필요하지 않았던 후공정 단계에도 빠르게 미세화가 진행되면서 다양한 Application이 발굴되고 있습니다. 이처럼 원자현미경의 수요가 다양한 분야에서 증가함에 따라 당사는 고객과의 신뢰를 바탕으로 지속적인 연구개발을 통해 반도체 분야에서 빠르게 성장중인 AFM 시장을 선점해 나갈 것입니다.

Park News - Press Release | Park Atomic Force Microscope