Crosstalk Elimination
Flat Orthogonal XY Scanning Without Scanner Bow
파크시스템스의 교차간섭 배제 기술(Crosstalk Elimination)은 스캐너 보우를 제거하며, 스캔 위치, 스캔 속도 및 스캔 크기에 상관없이 평면 직교 XY 스캐닝을 허용합니다. 또한 옵티컬 플랫과 같이 가장 평탄한 시료를 다양한 스캔 오프셋으로 스캔하더라도 스캐너 왜곡(배경 왜곡)이 없습니다. 파크시스템스의 교차간섭 배제 기술(Crosstalk Elimination)은 이 분야에서 가장 필수 과제인 정확한 높이 측정과 정밀한 나노측정을 제공합니다.
Decoupled XY and Z Scanners
파크시스템스와 경쟁 업체 사이의 근본적인 차이는 스캐너 아키텍처에 있습니다. 파크시스템스의 독특한 선형성의 기반을 둔 독립적인 XY 스캐너와 Z스캐너의 설계로 인하여 업계에서 타의추종을 불허하는 정확한 나노 해상도 데이터를 얻을 수 있습니다.
Accurate Surface Measurement
“Flat” sample surfaces
- Low residual bow
- No need for software processing (raw data)
- Results less dependent on scan location
Dual Servo System for Orthogonal XY Scan
XY 플랙셔 스캐너로 X 스캔과 Y 스캔의 움직임이 분리되므로 어떠한 스캔 위치, 스캔 속도 및 스캔 크기에서도 X와 Y의 연계 이동이 최소화됩니다. 스캔 범위와 시료 크기에 관계없이 이중 위치 센서를 통해 선형 및 직교 피드백 제어가 가능하므로 정확도와 정밀도가 극대화됩니다.
Highly Linear and Orthogonal XY Scan
Industry Leading Z Scan Linearity
파크시스템스의 교차간섭 배제 기술(Crosstalk Elimination)을 통해 플랙셔 가이드 방식의 Z스캐너가 X및 Y스캔의 움직임에서 분리됩니다. 따라서 Z스캔 움직임을 정밀한 직선으로 유지할 수 있습니다. 플랙셔 가이드 방식 스캐너의 Z스캔 선형성은 0.015% 미만으로서 나노 규모에서 각도를 정확하고 정밀하게 측정할 수 있습니다.
파크시스템스의 원자현미경은 교차간섭 배제 기술(Crosstalk Elimination)을 통해 가장 정확한 나노 이미지 데이터를 제공합니다. 다양한 시료 종류와 크기에 대해 표면 왜곡이 제거되고, 선형성과 직교성이 높은 평면 XY 스캔이 가능하며, 각도를 정확하고 정밀하게 측정할 수 있습니다.