Park nano-IR은 나노스케일 적외선분광법(nano-IR spectroscopy) 기술을 원자현미경(AFM)과 결합하여 개발되었습니다. 최신 적외선분광학 기술의 결정체인 광유도력 현미경(PiFM, Photo-induced Force Microscopy)이 업계를 선도하는 파크시스템스 원자현미경 플랫폼과 통합되어, 화학적 분석 기능을 강화하고 나노스케일 분석에서 뛰어난 성능을 제공합니다.
Park nano-IR은 기존에 시장에서 존재하는 적외선분광법과 나노스케일 기술을 뛰어넘는 공간 해상도를 제공합니다. 분석 과정 전반에 걸쳐 일관성 있는 고해상도와 측정 정확도를 보장하며, 비접촉 모드를 활용하며 샘플 손상과 팁 오염을 최소화하면서도 신뢰성 높은 측정 결과를 제공합니다. 나노스케일에서 복잡한 소재의 화학적 성분을 정밀 분석할 수 있으며, IR 스펙트럼이나 특정 파동수에서의 화학적 결합을 약 10 nm의 공간 해상도 및 단층 민감도로 제공합니다. 사이드밴드 기술 통합은 미세한 분자 결합 상태를 감지하여, 미세한 물리적, 화학적 변화를 더 정확하게 추적할 수 있습니다.
자동 프로브 장착 및 IR 레이저 정렬 기능을 통해, 측정 준비 시간을 획기적으로 단축할 수 있습니다. 이를 통해 연구자들이 시료 측정에만 집중할 수 있는 환경이 보장됩니다.
Park nano-IR은 고해상도 표면형상, IR 스펙트럼 및 특정 파동수에서의 화학적 결합 등을 동시에 측정할 수 있는 샘플 분석 방안을 제공합니다. 원자현미경(AFM) 기반 기계적, 전기적, 열적 특성의 통합적 분석 지원 기능은 반도체 연구 분야 적용에 적합합니다. 나노스케일에서 물질 조성을 식별할 수 있어, 철저한 결함 분석 및 장치 특성화가 가능합니다.
PiFM(Photo-induced Force Microscopy) 방식은 비접촉 탐지 기술을 활용하여 공간 해상도를 강화하고, 측정의 신뢰성 및 샘플의 안전성을 개선합니다. Park nano-IR을 사용하면 사용자는 고해상도 IR 스펙트럼을 통해 나노스케일의 화학 분석을 경험할 수 있습니다. Park nano-IR이 제공하는 고해상도 IR 스펙트럼은 기존의 FTIR(퓨리에변환적외선분광법)과 뛰어난 상호연관성을 보장합니다. 직접 구동 또는 사이드밴드 이중 모드 기술을 포함한 고급 탐지 기법은 다양한 탐침의 측정 범위에서 물질 정보를 추출하는 방법을 제공합니다.
Park nano-IR는 FX200 IR, FX300 IR 및 FX300* 시스템에서 사용 가능하며, 다음과 같은 기능을 제공합니다.
* FX300: Park nano-IR은 롱레인지 프로파일러, 회전 스테이지, 팬 필터 유닛 등 산업용 연구개발을 위한 전문적인 애플리케이션과 함께 선택 모듈로 제공됩니다.