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インライン計測用AFM

ウェーハーファブ用AFM

パーク・システムズは、半導体製造の計測、デバイスの故障解析、その他の産業用アプリケーション向けに自動AFMのフルラインナップを提供しており、高精度で再現性の高い完全な測定を行うことで、製造の効率と品質を向上させることができます。