パーク・システムズ#9 研究⽤AFM: AFMプローブの選択方法
SPEAKERS
  • 後藤 千絵
    パーク・システムズ・ジャパン株式会社技術部 分析チーム
Authors
後藤 千絵


前回のAFM基礎コースPart２に引き続き、イメージングに必須のプローブについてお話します。
原子間力顕微鏡（AFM)のプローブを適切に選択することは、質の高いイメージを取得するために重要な過程の一つです。 一般に、AFMプローブは、シリコンチップ、チップから延びるカンチレバー（SiまたはSi3N4）、およびカンチレバーの先端に 取り付けられた（または一体型）探針（SiまたはSi3N4）で構成されます。AFMプローブには、様々な材料、形状、剛性（バネ定数）、 共振周波数、Q値があります。プローブの選択はその材料と用途によって異なります。
以上のようにプローブは、材質、バネ定数、共振周波数、針の形状 の組み合わせで、様々なアプリケーションに合ったものを選択することが重要です。 どういった観点でプローブを選択するのか、実際の画像と合わせながらご紹介いたします。
パーク・システムズの使い易いオペレーションソフトウエアと適切なプローブの選択で、正確で情報量の多いデータを取得していただければと思います。
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