Park ウェビナー #17 初めてのAFM 電気特性の基礎講
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  • 後藤 千絵
    パーク・システムズ・ジャパン株式会社技術部 分析チーム
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後藤 千絵

日本の新年度、新学期に合わせまして「初めてのAFM ウェビナーシリーズ」を実施中ですが、前回の「AFMの基礎講座」に引き続き電気特性に関するアプリケーションをご紹介します。

前回のウェビナーにて3種類の形状測定モードをご紹介しましたが、電気特性は検出したい信号によって、ベースとなる形状測定モードが異なります。例えば、コンダクティブAFM（電流測定）ならベースはコンタクトモード、表面電位測定ならベースはノンコンタクトモードとなります。ウェビナーの内容といたしましては、STM（トンネル顕微鏡）、静電気力顕微鏡、表面電位、圧電応答、電流測定、拡がり抵抗、キャパシタンス顕微鏡、フォトカレント、磁気力顕微鏡の原理を初心者向けに解説、スペクトロスコピーやそれぞれのモードによる測定結果について、プローブの選び方など、今回も盛りだくさんですが分かり易く説明いたします。

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