网络讲座: 原子力轮廓仪的原理及其应用
网络讲座内容简介: Park低杂讯原子力显微镜与长距离滑动平台（Long range sliding stage）技术相结合，创造出原子等级的长距离表面轮廓分析仪器（Atomic Force Profiler, AFP）. 出色轮廓的精度和重复性，使其成为半导体产业先进制造中不可或缺的分析仪器。 Park的非接触式扫描（True Non-Contact Mode）,让原子力显微镜可以进行线上（In-line）非破坏式高解析扫描，不仅大幅延长了探针的使用寿命，也保护了样品表面不受探针的损伤。而利用2D profile 模式，用户能够获取比传统AFM更大范围的表面轮廓（可达50mm x 50mm）,并能达到原子等级的高度信息。 本次讲座介绍了AFM以及非接触式扫描的基本原理，比较不同表面轮廓分析仪器的差异，再进一步讲解Atomic Force Profiler 模式在不同类型样品的量测及分析方法，以及Atomic Force Profiler大范围扫描在产业界的研究及应用的优势与发展。 Atomic Force Profiler模式可以获取长距离样品表面高度的纳米尺度变化