Park NX20 Liteは、コスト効率に優れながらも先進的なAFMシステムです。この技術的に進んだAFMシステムは、大型試料の測定に最適化されており、さまざまな革新的な機能を備えています。
Park NX20 Liteは、多様な試料を扱う共同研究室、多変量解析やウェハーの故障解析に最適な多くの独自の機能を備えています。 また、リーズナブルな価格設定と充実した機能により、大型試料用AFMとしては業界で最も経済的な製品の一つとなっています。
弊社の高度なAFMシステムは、最大16個の個別サンプルを収容できる特別設計のマルチサンプルチャックを利用して、複数のサンプルを一度に処理できる自動イメージング機能を備えています。システムは最大200 mm x 200 mmの広範な移動能力を提供する完全にモーター化されたXYサンプルステージを装備しており、サンプル処理の包括的なカバレッジと高い効率性を保証します。
弊社のシステムは、平坦で直交するXYスキャンを確保する2つの独立したクローズドループXY およびZフレクスチャースキャナーーを備え、残留ボウが少なく、優れたイメージング忠実度を提供します。NXエレクトロニックコントローラーにより強化されたこのシステムは、ソフトウェア処理に依存せずにより正確な高さ測定を提供し、すべての次元で精度を最適化します。
高速Zサーボ速度を備えた弊社のシステムは、True Non-Contact™モードをサポートし、チップの摩耗を最小限に抑え、高品質の高解像度イメージング機能の寿命を延ばします。
包括的な測定モードと特性評価を備えた弊社のシステムは、オプションのアクセサリーとアップグレードを通じて拡張された機能を提供し、詳細な故障解析（FA）に不可欠な高度な電気測定を提供します。
Park NX20 Lite MultiSample™ スキャンシステムは、特別に設計されたマルチサンプルチャックを特徴としており、一度に複数のサンプルを自動的にイメージングできます。このチャックは最大16個の個別サンプルをロードでき、完全にモーター化されたXYサンプルステージを含み、200 mm x 200 mmまで移動可能です。モーター化された機能により、MultiSample Scan™ はステップアンドスキャン自動化を通じて、複数領域のプログラム可能なイメージングを容易にします。
クロストークを除去したスキャナー構造により、スキャン位置、スキャンレート、スキャンサイズに関わらず、フラットな直交XYスキャンを 可能にしました。 オプティカルフラットのような極めて平坦な試料や、様々なスキャンオフセットがある場合でも、 湾曲が生じない設計となっています。 非常に正確な高さ測定と精密なナノ計測で研究・エンジニアリングにおける難しい問題も解決できます。
Park AFMは、業界で最高水準の低ノイズZ検出器を搭載しており、0.02nmのノイズを実現しています。 これにより、エッジのオーバーシュートの ない、高精度なサンプルの形状測定を行うことができます。Park NXシリーズは時間を節約し、より良いデータを得ることに貢献します。
