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  • Park
    NX20 Lite
    原子間力顕微鏡
    最新のNXの性能を備えた最も経済的な
    ウェーハ計測・分析用AFMシステム

汎用性の高いAFMで生産性を大幅に向上

Park NX20 Liteは、多様な試料を扱う共同研究室、多変量解析やウェハーの故障解析に最適な多くの独自の機能を備えています。 また、リーズナブルな価格設定と充実した機能により、大型試料用AFMとしては業界で最も経済的な製品の一つとなっています。


 

マルチサンプルスキャンで簡単にできる試料の測定

  • 1回の測定で複数の試料を自動イメージング
  • 最大16個の試料を搭載できるマルチサンプルチャック (オプション)
  • 最大150 mm x 150 mmまで移動できるモーター駆動式XYステージ
 

クロストークの除去による正確なXYスキャン

  • 二つの独立したクローズドループXYおよびZフレクチャー式Zスキャナ
  • フラットで直交するXYスキャンで湾曲を減少
  • ソフトウェア補正を必要としない高精度測定
 

真のノンコンタクト™モードによる最高のチップ寿命、分解能、試料の保存性

  • 高速Zサーボによる真のノンコンタクト™モードの実現
  • チップの摩耗を最小限に抑え、高品質・高解像度のイメージングを長期間実現
 

多彩なモードとオプション

  • 包括的な測定モードと特性評価
  • オプションのアクセサリやアップグレードで機能の拡張
  • 故障解析 (FA) のための高度な電気測定