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반도체

나노스케일의 결함 검출과 구조 분석은 반도체 공정 개발 및 품질 관리에 필수적입니다. 파크시스템스의 AFM 기술은 웨이퍼, 포토레지스트, 반도체 소자 구조 등 민감한 시료의 손상을 최소화하면서 정밀한 이미징과 측정을 지원하여 첨단 반도체 연구에 기여합니다.