Imaging Spectroscopic Ellipsometry

Park의 이미징 분광 엘립소미터는 엘립소메트리와 광학 현미경의 장점을 단일 장치에 결합합니다. 두 기술의 통합으로 타원 측정법과 편광 대비 현미경 검사법의 한계를 재정의하는 고유한 계측 도구가 탄생했습니다. 이미징 엘립소미터(약 1μm)의 향상된 공간 분해능은 엘립소메트리를 미세 분석, 마이크로 전자 공학 및 바이오 분석의 새로운 영역으로 확장합니다. 이미징 일립소메트리는 미세 구조의 박막 샘플과 기판의 층 두께와 재료 특성화에 탁월한 전광학 비접촉 계측 기술입니다. 이 기술은 현미경 이미징과 분광 타원편측법의 측정 원리를 결합합니다. 이는 약 1μm의 공간 분해능에 도달하여 일반 타원계 또는 반사계와 같은 다른 광학 계측 도구의 한계를 쉽게 뛰어넘습니다. 측정은 샘플과 편광의 상호 작용을 기반으로 합니다. 계산 모델링을 통해 측정된 편광 특성은 층 두께, 굴절률 및 흡수, 거칠기 또는 이방성과 같은 물리적 샘플 특성의 맵으로 변환됩니다.