산업용 원자현미경

Wafer Metrology

완전 자동화된 Park 원자현미경은 인라인 웨이퍼 제조 공정에 최적화하도록 설계되었습니다. 이는 반도체 웨이퍼 제조 공정에 필수적인 중요한 측정 및 분석을 위한 정밀한 계측 도구입니다. 일관되고 정확하며 광범위한 데이터를 제공하는 이러한 시스템은 제조 프로세스와 제품 품질을 향상 시킵니다. 자동 팁 교환 및 로봇식 웨이퍼 처리 기능을 갖추고 기존 제조 라인에 원활하게 통합되어 반도체 생산 엔지니어링 및 품질 보증을 위한 효율적인 솔루션 역할을 합니다.