엘립소미터

Referenced Spectroscopic Ellipsometry

참조 분광 엘립소미터(Referenced Spectroscopic Ellipsometry)는 샘플을 기준과 비교하는 특별한 유형의 타원계입니다. 이를 통해 샘플과 기준 사이의 타원 측정 차이를 측정할 수 있습니다. 기준 방향으로 인해 측정 중에 광학 구성 요소를 이동하거나 변조할 필요가 없으며 단일 측정으로 전체 고해상도 스펙트럼을 얻을 수 있습니다. 초당 200개의 스펙트럼을 획득합니다. 동기화된 x-y 스테이지를 통해 몇 분 내에 대규모 필드 필름 두께 맵을 획득할 수 있습니다.