シングルパスKPFMの原理詳細とハンズオンセッション
SPEAKERS
  • Ilka Hermes
    Park Systems Europe GmbH, Mannheim, Germany
Authors
Ilka Hermes


原子間力顕微鏡（AFM）は、幅広い科学分野の研究に不可欠なツールとなってきています。AFMは、他の顕微鏡技術に比べて解像度が高く、様々な試料に適用できるため、界面での材料特性を調べたり、生物材料とそのプロセス学 を研究したり、物性物理における材料の基本特性 を理解するのに理想的な手段でもあります。

AFMは解像度が高いため、おもに構造や形状評価のために 使われていますが、AFMでできることはトポグラフィー測定 だけではありません。探針が試料表面に近づくと、材料特性に関連して、探針―試料間の相互作用力は局所的に敏感に働きます。この特性に関連する相互作用力は、形状情報とリンクして、かつ定量的に評価することができます。

AFMの応用モードの 一つであるケルビンプローブフォース顕微鏡（KPFM）を使用すると、試料表面の電位に関するデータを取得できます。KPFMは、試料表面の構造特性や材料組成を電位差と相関させるための理想的な局所プローブ法であり、ナノエレクトロニクス およびオプトエレクトロニクス 、金属腐食、エネルギー貯蔵などの様々な分野での応用が可能です。

パーク・システムズは、NXシリーズのすべてのAFMシステムにデフォルトでシングルパス技術のサイドバンドKPFM を実装しています。この高度な測定方法 により、トポグラフィーと同時に高精度で定量的なポテンシャル のマッピングが可能です。

このウェビナーでは、KPFMテクニックの詳細と利点について 、使い勝手良さデモンストレーションと併せてご覧いただきます。
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