통합된 백색광 간섭 측정기(White Light Interferometry)를 탑재한 최초의 AFM인 Park NX-Hybrid WLI는 프론트엔드에서 고급 패키징 및 연구 개발 계측까지 다양한 반도체 제조 요구를 충족합니다. 고처리량, 대면적 측정에 이상적이며, 나노미터 스케일의 영역을 서브나노 해상도와 뛰어난 정확도로 확대할 수 있는 기능을 갖추고 있습니다.
반도체 산업에서 장치 패키징은 현대 장치의 성능, 크기 및 신뢰성을 결정하는 데 중요한 역할을 합니다. 제조업체들은 더 작고 강력한 반도체에 대한 요구를 충족시키기 위해 구성 요소의 복잡한 통합, 효율적인 열 관리, 재료 호환성 및 높은 주파수에서 전기적 무결성 유지 등의 도전에 직면해 있습니다. Park Atomic Force Microscopy 솔루션은 이러한 도전에 정면으로 대응합니다. Park AFM 도구는 고도의 정밀도와 나노 스케일 구조 분석 기능을 갖추고 있어 제조업체가 고급 장치 패키징의 복잡성을 극복할 수 있도록 합니다.
Park NX-Hybrid WLI is the first-ever AFM with built-in WLI profilometry for semiconductor and related manufacturing quality assurance, process control for semiconductor front-end, back-end up to advanced packaging, and R&D metrology. It is for those that require high throughput measurements over a large area that can zoom down to nanometer-scale regions with sub-nano resolution and ultra-high accuracy.
Park NX-Hybrid WLI는 반도체 및 관련 제조 품질 보증, 반도체 프론트엔드부터 백엔드 및 고급 패키징에 이르는 공정 제어 및 연구 개발 계측을 위한 내장형 WLI 프로파일로미터가 있는 최초의 AFM입니다. 이는 대면적에서 고처리량 측정을 필요로 하며 서브나노 해상도와 초고정밀도로 나노미터 스케일 영역을 확대할 수 있는 사람들을 위한 것입니다.
LED 또는 할로겐 램프와 같은 백색광이 다양한 렌즈를 통해 샘플에 비추는 광원으로 사용됩니다. 샘플을 이 빔으로 스캔하는 동안 스캔 중 발생하는 광 간섭으로 인해 광 강도 변동이 발생합니다. 이 원리를 사용하여 WLI는 각 지점에서 표면 높이를 계산하여 표면 지형도를 생성합니다.
백색광 간섭계(WLI)와 원자력 현미경(AFM)은 반도체 계측을 위한 두 가지 최고의 보완 기술로, WLI는 고처리량 측정을 위한 빠르고 넓은 영역의 광학 이미징을 제공하며, AFM은 투명 재료에 대해서도 가장 높은 나노스케일 해상도를 제공합니다.
Park NX-Hybrid WLI는 PSI 모드를 위한 모터 구동 필터 교체기와 두 개의 대물 렌즈를 신속하게 교체할 수 있는 자동화된 모터 구동 선형 렌즈 교체기를 특징으로 하여 WLI 및 PSI 모드를 모두 지원합니다. 가능한 배율에는 2.5배, 10배, 20배, 50배 및 100배가 포함되어 다양한 측정 요구에 맞게 렌즈를 자동으로 교체할 수 있습니다.
Park NX-Hybrid WLI는 기준 샘플 영역과 대상 샘플 영역 간의 이미지를 비교하여 핫스팟 결함을 자동으로 검토하고 빠른 '핫스팟 감지'를 가능하게 합니다. 이를 통해 결함 위치를 신속하게 찾아내어 상세하고 고해상도의 AFM 검토를 수행할 수 있습니다.
