FX40 with monitor

Park FX200

The most advanced AFM for 200 mm samples

Park FX200은 200mm 웨이퍼 분석에 최적화되어 있으며, 최대 16개의 소형 시료 또는 200mm 웨이퍼를 장착할 수 있습니다. 이 장비는 기존 원자현미경보다 향상된 고도의 자동화 기능을 특징으로 하며, 정밀도를 극대화한 기계 구조를 통해 노이즈 플로어와 열 드리프트를 최소화하여 측정의 안정성과 정확성을 높였습니다. Z 서보 성능 개선으로 빠른 측정이 가능하며, 고성능 광학 시스템이 적용되어 고해상도의 이미지를 제공합니다. FX200은 탐침의 교환과 인식, 레이저 빔 자동 정렬을 통해 측정 준비 시간을 획기적으로 단축하고 측정의 정밀도를 향상시키며, 매크로 광학 기능을 통해 200mm 웨이퍼 전체를 직관적으로 확인하고, 빠르게 이동할 수 있어 작업 속도가 크게 개선되었습니다. 또한, 자동 측정 기능(StepScan)을 통해 생산성을 높이고, 숙련된 사용자와 초보자 모두에게 편리함을 제공하여 다양한 분야에서 활용할 수 있는 기회를 제공합니다.

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Enhanced AFM Core Technology

  • Lower noise floor and minimal thermal drift

    개선된 기계 구조를 통해 노이즈 플로어를 크게 감소시키고 온도차에 의한 드리프트를 최소화하여 보다 정확한 측정을 할 수 있고, 그 결과 측정 결과의 정확성을 향상시켰습니다.

    Lower noise floor and minimal thermal drift

  • Small laser spot size

    SLD 빔을 대물 렌즈를 통해 초점을 맞추어 레이저 스팟 크기를 획기적으로 줄였으며, 11µm의 SLD 빔 직경으로 고속 이미징 탐침의 적용할 수 있어 AFM을 응용할 수 있는 분야가 확대되었습니다.

    Small laser spot size

  • Faster Z servo performance

    고정밀도 피에조 스택 액추에이터로 구동되며 정밀 플렉서 구조로 정확도를 유지합니다. 또한, 새로운 FX AFM 컨트롤러는 기존 자사 컨트롤러 대비 성능이 향상되어 보다 높은 정확도, 보다 빠른 Z 서보 성능을 제공합니다.

    Faster Z servo performance

True Non-contact™ Mode

The Most Accurate AFM Scanning Mode Ever

True Non-contact™ 모드는 탐침-시료 거리를 나노미터 이하의 정밀도로 제어하며, Park FX200은 다른 원자현미경보다 더 빠르고 정확한 True Non-contact™ 모드를 제공합니다.

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Accurate and Reproducible Measurements for Better Productivity

탐침 마모 방지, 시료 손상 방지, 고해상도 이미징 유지, 그리고 측정의 정확성 등 비접촉식 모드의 장점과 우수성은 이미 잘 알려져 있습니다. 그러나 플렉셔(flexure) 기반 고강도 Z-스캐너를 통해 True Non-Contact™ 모드를 구현한 곳은 파크시스템스가 유일합니다. 이 모드에서는 탐침과 시료 사이의 거리를 수 나노미터로 정확하게 유지하며, 탐침 진동의 진폭이 작아 탐침과 시료의 상호 작용을 최소화합니다. 그 결과, 탐침 보존이 뛰어나고 시료의 변형이 거의 없습니다.

Handles Wafers and Multiple Samples

최대 200mm 웨이퍼를 포함한 다양한 크기의 시료를 수용하며, 산업 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다.
진공 샘플 척은 최대 16개의 소형 시료를 장착할 수 있어, 한 번의 설정으로 다양한 실험을 수행할 수 있습니다.

  • Full 200 mm wafer support

    최대 200mm 크기의 웨이퍼를 측정할 수 있어 반도체 제조 및 재료 과학 연구에 필수적입니다. 고해상도 이미징과 정밀 측정을 위해 특별히 설계된 진공 샘플 척은 샘플의 안정적인 위치를 보장하여 실험의 다양성과 효율성을 향상시킵니다.

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  • Holds up to

    16 coupon-sized samples

    진공 샘플 척은 최대 16개의 소형 시료를 장착할 수 있어, 한 번의 설정으로 다양한 실험을 수행할 수 있어 생산성을 높입니다. 이 기능은 측정 준비 시간을 단축하고 효율성을 극대화하여 여러 시료를 빠르게 분석해야 하는 실험실에 이상적입니다.

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Intelligent Automation

탐침 인식과 교환, 레이저 빔 자동 정렬, 매개변수 튜닝 등 필수 작업을 자동화하여 효율성을 높입니다. 또한, 반복적인 측정 및 모드 전환을 지원하는 16개의 탐침 슬롯이 있어 측정 준비 시간을 단축하고 전반적인 효율성을 개선합니다.

탐침 식별 카메라는 새로운 탐침의 칩 캐리어에 각인된 QR 코드를 읽어 탐침의 유형, 모델, 용도 및 사용 이력을 포함한 모든 관련 정보를 표시합니다. 이를 통해 각 작업에 가장 적합한 탐침을 신속하게 선택할 수 있어 정확성과 효율성을 보장합니다.

자동 탐침 교체 기능으로 오래된 탐침을 쉽고 안전하게 교체할 수 있습니다. 반복 측정 및 모드 전환을 위한 16개의 탐침 슬롯을 갖추고 있어 신속한 자동 탐침 전환을 통해 측정 준비 시간을 단축하고 효율성을 개선합니다.

자동 빔 정렬은 레이저 빔을 탐침의 적절한 위치에 맞추고, 광검출기(PSPD)에서 스팟의 위치를 수직과 수평 모두 최적화합니다. 버튼 클릭 한 번으로 X, Y, Z 축을 이동시켜 왜곡 없이 선명한 이미지를 제공합니다.

Simplified Operation

관심 영역(ROI)을 보다 확대할 수 있는 줌 기능은 넓은 시야의 시료 카메라를 사용하여 200mm 웨이퍼 전체를 표시함으로써 빠르고 정확한 위치 지정을 가능하게 하여 분석을 간소화합니다. 이 기능은 광범위한 스캔부터 세부적인 확대까지 목표 영역을 찾는 데 필요한 시간을 단축합니다. 또한, 정교한 광학 시야는 선폭을 1µm 미만으로 분해하여 탁월한 선명도를 제공합니다.

사전 정의된 좌표 설정을 통해 200mm 웨이퍼와 같은 대형 시료나 다중 샘플 척의 여러 시료를 자동으로 측정할 수 있습니다. 자동 측정은 형상 측정을 비롯한 원자현미경의 다양한 고급 옵션 모드를 순차적으로 실행하여 연구 및 산업 환경에서 작업 절차를 간소화합니다.

Next Generation AFM Controller for High-End Products

Park FX 컨트롤러는 Park FX 시리즈의 성능을 향상시키기 위해 특별히 설계되었습니다. 이 새로운 컨트롤러는 추가 장비 없이 Contact Resonance Piezoresponse Force Microscopy(CR-PFM)과 같은 신규 측정 모드를 구현하게 되었으며, 사용자가 원자현미경의 최신 기술을 더욱 깊이 활용할 수 있도록 지원합니다.

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  • 향상된 안전성 및 실시간 환경 모니터링
  • 탐침 바이어스 변조 대역폭이 증가된 CR-PFM의 직접 활성화
  • 빠른 데이터 및 이미지 처리를 위한 향상된 이더넷 연결

Applications

Perfect for Diverse Applications