FX40 with monitor

Park FX300

프리미어 300mm 웨이퍼 분석의 새로운 기준, Park FX300

Park FX300는 연구용과 산업용의 경계를 허무는 혁신적인 원자현미경(AFM)으로, 원자 수준의 분석이 필요한 반도체 및 첨단 소재의 연구에 최적화되어 있습니다. 다양한 반도체 후공정에서 구리패드의 평탄도를 측정하는 슬라이딩 스테이지(Sliding Stage), 웨이퍼 레벨 패키지 공정에서 웨이퍼의 정렬 및 방향 조절에 필요한 회전 스테이지(Rotation Stage), 샘플 관찰 용이성을 높이고 특수한 광학적 요구사항을 충족시키는 오프엑시스 광학(Off-Axis Optics), 청정도에 민감한 활용분야를 위해 자가 전원 필터 정화를 제공하는 팬 필터 유닛(FFU) 등은 산업용 연구개발에 최적화된 전문적인 옵션입니다.

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연구와 산업 계측 모두에 이상적인 AFM 솔루션

실험실 환경을 제어하는 시설 컨트롤러, 긴급 차단 기능이 포함된 신호 타워, 팬 필터 유닛(FFU) 기반의 오염 제어 솔루션을 지원합니다.

  • 300 mm 웨이퍼 측정

    반도체 산업에서 사실표준으로 자리잡은 300 mm 웨이퍼까지 측정 가능하며, 나노 단위 적외선분광(Infrared Spectroscopy) 애플리케이션도 선택적으로 적용 가능합니다.

    300 mm 웨이퍼 측정

  • 산업용 연구개발에 최적화된 옵션

    반도체 후공정에서 구리패드의 평탄도 측정에 많이 활용되는 슬라이딩 스테이지(Sliding Stage), 웨이퍼 레벨 패키지 공정에서 웨이퍼의 정렬 및 방향 조절에 필요한 회전 스테이지(Rotation Stage), 샘플 관찰 용이성을 높이고, 특수한 광학적 요구사항을 충족시키는 오프엑시스 광학(Off-Axis Optics), 자가 전원 필터 정화 기능을 제공하는 팬 필터 유닛(FFU) 등 산업용 연구개발을 위한 전문적인 옵션을 제공합니다.

    산업용 연구개발에 최적화된 옵션

  • 산업용 설비 기능 기본 제공

    AFM 시스템을 제어하고 실험에 필요한 외부 장비나 시스템을 통합 관리하는 시설 제어기(Facility Controller), 실험 중 가능한 중요 이벤트를 시각적으로 표시하는 신호 타워(Signal Tower)를 기본 기능으로 제공합니다.

    산업용 설비 기능 기본 제공

자동화 그 이상의 편리함

Park FX300는 자동 프로브 인식 및 교환, QR 코드 시스템을 통한 프로브 상태 확인, 머신러닝 기반 레이저 자동 정렬 등 혁신적인 기능으로 사용자 편이성을 극대화합니다. 최대 16개의 슬롯을 지원하는 자동 프로브 교체 기능을 통해 반복 측정과 모드 전환 시의 다운타운을 최소화합니다.

내장된 카메라와 QR 코드 시스템을 활용해 프로브 상태를 빠르고 정확하게 확인할 수 있습니다. QR 코드 인식을 바탕으로 프로브의 유형, 모델, 애플리케이션 및 사용 이력을 실시간으로 확인 가능합니다.

최대 16개의 슬롯을 지원하는 자동 프로브 교환 기능을 갖추고 있어 연속적인 측정 및 모드 변환이 가능합니다.

레이저 빔과 광 검출기를 정밀하게 정렬하여 설정 과정과 준비시간이 대폭 감소시킵니다. X, Y, Z 축을 자동으로 조정하여 왜곡 없는 정확한 이미지를 제공하기 때문에, 연구자들이 샘플 측정에만 집중할 수 있는 환경을 보장합니다.

레시피 기반의 자동 반복 측정

사전 정의된 좌표 설정을 통해 300mm 웨이퍼와 같은 대형 시료나 다중 샘플 척의 여러 시료를 자동으로 측정할 수 있습니다. 자동 측정은 형상 측정을 비롯한 원자현미경의 다양한 고급 옵션 모드를 순차적으로 실행하여 연구 및 산업 환경에서 작업 절차를 간소화합니다.

차세대 AFM 컨트롤러

Park FX 컨트롤러는 Park FX 제품군의 성능 향상을 위해 특별히 설계되었습니다. 이 새로운 컨트롤러는 추가 장비 없이 Contact Resonance Piezoresponse Force Microscopy(CR-PFM)과 같은 신규 측정 모드를 구현하게 되었으며, 사용자가 원자현미경의 최신 기술을 더욱 깊이 활용할 수 있도록 지원합니다.

controller image
  • 향상된 안전성 및 실시간 환경 모니터링
  • 탐침 바이어스 변조 대역폭이 증가된 CR-PFM의 직접적인 활성화
  • 빠른 데이터 및 이미지 처리를 위한 이더넷 연결 향상
  • 외부 증폭기 없이 활용 가능한 DFRT-PFM
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Park nano-IR Spectroscopy

나노 IR 분광법(PiFM)을 활용한 대형 샘플의 화학적 분석

Park nano-IR은 적외선분광법(IR Spectroscopy)과 원자현미경(AFM)을 통합한 시스템입니다. 적외선분광법 기능은 공간 해상도 5nm 이하에서 화학적 식별을 제공하며, 비접촉 방식을 통해 안전한 분광 스캐닝 방식과 업계 최고 수준의 공간 해상도를 보장합니다. 원자현미경 기능은 서브옹스트롬(Å) 단위의 높은 정확도로 나노미터 수준의 3D 표면형상 정보와 기계적 특성 정보를 제공하여, 사용자의 보다 정밀한 재료 분석을 지원합니다.