SIMONは、イメージングエリプソメトリーにおける規則的な測定作業に特化した特別仕様となっています。シンプルなユーザーインターフェースと固定角エリプソメーターの堅牢性により、イメージングエリプソメトリーを容易に利用可能です。顕微鏡モードは非常に高速に、極薄膜（例えば単層膜：d = 0.35 nm）の変化や欠陥を可視化することができ、一方、エリプソメトリモードではサンプル材料の厚さと屈折率を測定することが可能です。 イメージングエリプソメトリー自体は、厚みと屈折率測定の感度と顕微鏡のイメージングを兼ね備えています。これにより、微細な構造を持つサンプルなどの厚みと屈折率の変化を顕微鏡画像で判断することが可能です。 典型的な用途としては、品質管理における大型サンプルの均一性や欠陥の表面検査、2次元材料の剥離フレークの高速検出などが挙げられます。
SIMONは、大きな領域をスムーズに繋ぎ合わせるように設計されています。4インチのウェーハ全体を47分以内で検査し、10μmの小さな欠陥、粒子、不均一性を観察することができます。SIMONは、所望の厚さのフレークや材料を検索することもできます。SIMONのイメージング機能を通じて、単一測定のヒストグラム分析が可能となり、厚さや不均一性の分布についての詳細な洞察を提供します。
エリプソメトリーと顕微鏡の組み合わせにより、サンプルの厚さマップを測定できます。これらのマップはAFM測定に匹敵しますが、トップ層以外も測定できます。さらに、イメージングエリプソメトリーは、約500μm（X）x 550μm（Y）の厚さマップを1分未満で測定します。厚さの分解能は0.01nm未満で、範囲は0.01nm < d < 5μmです*。エリプソメトリーモードは屈折率も決定します。これにより、例えばレーザーによって刻まれたホログラフィックグレーティングにおける屈折率の変動をユーザーが 確認できるようになります。波導管で見られるような小さな屈折率の変化も視覚化して観察できます。*サンプル/基板の組み合わせによる
