イメージング分光エリプソメトリー

Parkのイメージング分光エリプソメーターは、エリプソメトリーと光学顕微鏡の利点を単一のデバイスに結合します。この二つの技術の統合は、エリプソメトリー測定と偏光コントラスト顕微鏡の限界を再定義するユニークな計測ツールを作り出します。イメージングエリプソメーターの強化された空間分解能（約1µm）は、エリプソメトリーを微細分析、マイクロエレクトロニクス、およびバイオアナリティクスの新しい分野に拡張します。イメージングエリプソメトリーは、微細構造の薄膜サンプルと基板の層厚と材料特性評価に優れた全光学的、非接触の計測技術です。この技術は、顕微鏡イメージングと分光エリプソメトリーの測定原理を組み合わせています。約1µmの空間分解能に達し、通常のエリプソメーターや反射計などの他の光学計測ツールの限界を容易に超えます。測定はサンプルと偏光の相互作用に基づいています。計算モデリングにより、測定された偏光特性は、層厚、屈折率と吸収、粗さや異方性などの物理サンプル特性のマップに変換されます。