エリプソメーター

参照分光エリプソメトリー

RSE（参照分光エリプソメトリー）は、サンプルを基準と比較する特別なタイプのエリプソメーターです。これにより、サンプルと基準の間のエリプソメトリー差を測定できます。基準の向きにより、測定中に光学コンポーネントを移動または変調する必要がなく、単一ショット測定で完全な高解像度スペクトルを取得できます。1秒間に200スペクトルが取得されます。同期されたx-yステージにより、数分以内に大面積フィルム厚さマップの取得が可能です。