インライン計測用AFM

光学プロフィロメトリー

Park NX-Hybrid WLIは、半導体および関連製造の品質保証、前工程および後工程、先端パッケージング、ならびに研究開発計測のための白色光干渉計（WLI）プロフィロメトリーを統合した、世界初のAFMです。この装置は、サブナノメートルの分解能と超高精度を実現し、ナノメートルスケールの詳細までズームインすることができる大面積の高スループット測定を提供します。これにより、微細な構造解析が必要な研究者や技術者に最適なソリューションを提供します。