ウェハーファブ用AFM
Park AFM Wafer Systemsは、ウェーハ製造におけるナノスケールの精密測定と制御において重要な役割を果たし、デバイスの正確な製造を保証します。
フォトマスクリペア
フォトマスクリペア用のPark AFMは、自動欠陥レビューからリペア、その後の修正検証までを包括的に合理化するソリューションを提供し、リペアの効率とスループットを大幅に向上させます。このシステムは、フォトマスクの微細な欠陥を高精度で検出し、迅速なリペアと精緻な修正検証を実現します。
アドバンスド・パッケージング光学式プロフィロメトリー
Park AFMの白色光干渉計（WLI）との先進的な統合は、半導体製造のすべての段階において、高度なパッケージングおよびR&D計測を含む品質保証とプロセス制御を強化します。この統合は、微細な表面特性の高精度測定を可能にし、製品の信頼性と性能向上に寄与します。
フラットパネルディスプレイ向けAFM
OLED、LCD、フォトニクスなどのフラットパネルディスプレイ製造において、Park AFMは300mmを超える大型サンプルの分析に特化し、高精度で非破壊な測定手法を提供します。これにより、微細な表面特性の評価や製品の品質管理が向上し、製造プロセスの効率化と最適化が実現されます。