インライン計測用AFM

ウェハーファブ用AFM

パーク・システムズの最先端自動AFMは、半導体プロセスに革新をもたらします。半導体製造の計測、デバイスの故障解析、および多岐にわたる産業用途に適した精密に設計された弊社の最新ツールは、自動化されたインラインソリューションを提供します。これにより、半導体産業の複雑な作業要件に応える高度な機能がエンジニアに提供されます。高精度で再現性の高い包括的な測定が可能となり、製造効率を向上させ、最高水準の生産品質を確保します。半導体業界における優れたソリューションの先駆けです。