Accurion EP4
薄膜を可視化
イメージングエリプソメーターEP4は、エリプソメトリーと顕微鏡を融合させた製品です。 EP4は1 µm程度の微細な構造物に対して、エリプソメトリーの感度で薄膜の厚みや屈折率などの光学特性の評価を行うことが可能です。従来のエリプソメーターでは、一点ずつの測定を行う必要があり複数の領域の同時測定はできず、位置分解能はスポットサイズに依存していました。位置分解能を得ることはできませんでした。一方、EP4では顕微分解能を有するエリプソメトリー像を得ることが可能であり、視野内にあるすべての構造を顕微分解能で一度に測定することが可能です。また、1度の測定で、厚みと屈折率の分布の3Dマップを記録することも可能です。 EP4は、顕微鏡光学系と偏光光学系を用いることで、ellipsometric-enhanced contrastの可視化が可能であり、薄膜の屈折率や厚みのわずかな変化を、カメラのライブビューで確認することが可能です。これにより、エリプソメトリー測定の準備段階で、厚み（0.1nm～10μm）や屈折率の値を得たい範囲（regions of interest）を容易に特定することができます。 AFM、QCM-D、リフレクトメトリー、ラマンなどのオプションと組み合わせることで、他の測定技術との同領域測定が可能です。 さらに、特定のアクセサリーを組み合わせることによって、測定環境や温度変化を制御した測定を可能にします。
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