パーク・システムズは、大型サンプルの自動測定向けにチップスキャンヘッドであるPark NX-TSH（Tip Scanning Head）を開発しました。Gen8+およびすべての大型フラットパネルディスプレイ用のAFMツールとしてさらなる進化を遂げます。これは、300 mmサイズの限界値超えを克服することを目的とした製造企業向けに特別に開発されました。

Park NX-TSHは、コンダクティブAFM（C-AFM）を使用して、サンプルの表面に接触するウェーハレベルの小さなデバイス、またはチップに電流を供給するオプションのプローブステーションでサンプル表面を測定できます。Park NX-TSHは、マイクロプローブステーションを統合することで電気特性計測を行う2Dエンコーダーサンプル用装置です。

Park NX-TSH チップスキャンヘッドシステムは、次世代フラットパネルディスプレイを製造するメーカーに対して、柔軟性と精度を向上させます。サンプルをチャックに固定し、ガントリーに取り付けられたチップスキャンヘッドを使用することで、サンプルのサイズと重量に関連する制限を効果的に克服します。300 mmのしきい値を超えることを目指すファブが直面する課題に対処するために特別に開発されたPark NX-TSHは、包括的なソリューションを提供します。導電AFM機能を備え、サンプル表面の精密な測定を可能にし、さらにオプションのプローブステーションによって強化され、ウェーハ上のデバイスに電流を供給することができます。

Park NX-TSHには自動化ソフトウェアが搭載されており、操作は非常に簡単です。必要な測定プログラムを選択するだけで、カンチレバー調整、スキャン速度、ゲイン、パラメーター設定と、各設定の最適化により、正確なマルチ分析を行うことができます。 パーク・システムズの使いやすいソフトウェアインターフェイスにより、カスタマイズされた操作ルーチンを柔軟に作成できるため、Park NX-TSHのすべての機能にアクセスして、必要な測定を行うことができます。 新しいルーチンの作成は簡単です。ゼロから作成するのに10分、既存のものを変更するのに5分もかかりません。