圧電応答スペクトロスコピー
弊社の圧電応答スペクトロスコピーモードでは、チップと試料表面の間のDCバイアスに対する局所的な振幅・位相の応答を測定します。局所的な圧電ドメインスイッチングにおける極性は、印加電圧の信号と量によって決まります。
In Piezoresponse Force Spectroscopy, the user can perform an array of PFM signal vs. bias spectroscopy measurements at various locations. The spectroscopy provides information on local switching behavior of a piezoelectric domain and measures the absolute value of a piezoelectric constant.