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16, May 24'
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In this seminar, I review and celebrate the breakthrough of this technique into the temperature and spatial scales relevant to fundamental studies of quantum materia...
12, Jun 24'
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Imaging spectroscopic ellipsometry involves combining the sensitivity of ellipsometry to detect changes in film thickness and optical properties with the imaging capabili...
25, Apr 24'
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パーク・システムズ・ジャパンは、今年も新年度・新学期に合わせまして AFMウェビナー【形状測定入門コース】を開催いたします！ 昨年実施した超基礎講座をベースにさらに分かりやすく、内容を改定いたしました。AFMにご興味のある方、これから実際にAFMを使い始められる方、パラメータ調整にあまり自信の無い方、オペレーションに疑問のある方、 ハード...
4, Apr 24'
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As interest in energy-related fields increases, this study delves into the pivotal role of Atomic Force Microscopy (AFM) in propelling forward innovations in energy ...
22, Mar 24'
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In this talk, we will discuss different perovskite fabrication processes and relevant composition adjustments to achieve desired applications such as solar cells, LE...
7, Dec 23'
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薄膜の厚さと光学特性は、マイクロおよびナノエレクトロニクス デバイスの性能と信頼性にとって重要です。 サンプルのサイズが小さくなっていくにつれ、小さな構造物の厚さと光学特性を測定することが求められますが、従来の方法では解決することが難しいです。 イメージングエリプソメトリーは、ミクロンスケールの構造上の表面や膜の特性を評価するため...
29, Nov 23'
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Real-space images of soft matter with molecular and sub-molecular resolution could provide valuable insights into the relationship between morphology and functionality of...
16, Nov 23'
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電子・物理・機械・化学・生物と、研究・教育のバックグラウンドが大きく異なる幅広いユーザを対象とした学内共通設備としてPark NX10・AFM装置を導入した経緯と本学での運用方針を説明します。特に「研究室に配属されたばかりのB4や大学院生」が主なユーザとなる状況を強く意識しております。 次に、装置の運用管理と利用にあたり、「ビギ...
29, Aug 23'
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Electrostatic and Kelvin probe force microscopies (EFM and KPFM) have become primary tools for the characterization of electrical phenomena on the nanometer scale, with m...
27, Jul 23'
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在先进半导体制程领域中，光刻技术扮演着极其重要且关键的角色。其中，光掩模作为微缩图形的来源，如何确保其图形正确而不被缺陷所影响，缺陷检测与修复成了光掩模不可或缺的工序。文中介绍原子力显微镜作为高精度纳米级定位与量测系统，可用来针对光掩模上的缺陷形貌、尺寸大小、定位缺陷位置与种类做进一步检验 (Defect Review)，并生成三维形貌和...