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  • Park
    NX20 300mm
    Atomic Force Microscope
    The leading automated nanometrology tool for
    300 mm wafer measurement and analysis

Park NX20 300mm

300mm 웨이퍼 측정 및 분석을 위한 최고의 자동화 나노 측정 장비

Park NX20 300mm는 300mm X 300mm의 크기를 완전 자동화 전동 스테이지를 지원하는 업계 최초의 대형 샘플 AFM입니다. 새롭게 업그레이드 된 Park NX20 시스템은 고장 분석 및 품질 관리 실험을 위해 설계 되었으며 번거로운 샘플 교체 작업 필요 없이 효율적으로 전체 300mm 웨이퍼를 검사 할 수 있습니다. Park의 혁신적인 제진 기술은 300mm 전동 XY 스테이지를 지원하는 확장 된 플랫폼에도 불구하고 실제 소음 수준을 0.5 Å 또는 0.3 Å RMS 미만으로 유지합니다.

검증 된 AFM 성능과 SingleClick-AFM 자동화는 샘플 조정에 대한 필요성을 없애고 Park NX20의 스캐닝 프로세스를 가능한 한 효율적이고 사용자에게 친숙하게 만듭니다. 우리의 "배치 모드" 화면을 통해 사용자는 쉽게 전체 300mm X 300mm 영역에 걸쳐 안정적이고 반복 순차적 멀티 사이트 측정을 구현할 수 있습니다. 따라서 대형 샘플을 측정해야 하는 FA, QA 및 QC 엔지니어에게 Park NX20 300mm는 최고의 선택입니다.

Brochures

 

대형 샘플 웨이퍼 검사를 위해 특별 제작

NX20 300mm는 대형 샘플을 최적으로 측정 할 수 있도록 설계되었습니다. 300mm 웨이퍼 전체 영역에 저소음 AFM 측정하여 분석 할 수 있습니다. 이는 완전히 새로운 측정 자동화를 열어 엔지니어들이 보다 정밀하고, 단순하며, 정밀도를 높일 수 있도록 해 줍니다.

 

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Flexible 300 mm Sample Chuck

NX20 300mm의 진공 척은 사용자가 실질적으로 정밀하게 스캔 할 수 있도록 다양한 종류의 웨이퍼 크기, 모양 및 유형을 지원합니다.

 

300 mm XY stage

The motorized 300 mm XY stage allows users to move the AFM measuring position within the entire 300 mm area.

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검증된 NX20 성능에 300mm 샘플 스테이지 조합

정확도를 저해하지 않고 사용 및 자동화가 탁월한 NX20은 이미 FA, QA 및 QC 엔지니어에게 최고의 선택입니다. 300mm 전동 XY 스테이지를 지원하는 확장 된 플랫폼을 갖춘 NX20 300mm는 한 걸음 더 나아가 사용자가 더 큰 샘플을 쉽고 매우 정확하게 검사 할 수 있게 해줍니다.

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Park SmartScan™은 정확한 측정을 간단하게 합니다.

Park NX20에는 SmartScan OS가 장착 되어 있어 AFM 사용자에게 있어 가장 쉽게 AFM을 사용할 수 있습니다. 직관적이지만 매우 강력한 인터페이스로 교육 받지 않은 사용자라도 전문가 없이 대형 샘플을 빠르게 스캔 할 수 있습니다. 이를 통해 수석 엔지니어는 더 큰 문제를 해결하고 더 나은 솔루션을 개발하는 데 자신의 경험을 집중할 수 있습니다.

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a전체 300mm 웨이퍼 영역에 멀티 사이트 스캔

SmartScan의 “Program Mode”를 사용하면 자동 순차적으로 사이트 측정을 수행하고 그리드 및 웨이퍼 기반 모드를 사용하여 표면 형상, 높이, 사이트 및 샘플 간 표본을 비교할 수 있습니다. 따라서 대용량 시료를 스캔 할 때 사용자 편의성과 생산성을 크게 향상시킬 수 있습니다.

b강력한 레시피 생성

우리의 간단한 레시피 생성 프로세스를 통해 엔지니어는 각 배치에서 위치, 이름, 번호 및 유형에 따라 사전 설정을 할 수 있습니다.

 

다양한 응용 분야에 최적화

NX20 300mm는 나노 미터 크기의 시료에 대한 고급 측정 및 분석을 제공하는 수많은 응용 분야에서 자동화 된 AFM 측정법을 제공합니다. AFM은 거칠기, 높이 및 깊이를 측정하고 결함 검토, 전기적 및 자기적 결함 분석, 열 특성 및 나노 기계적 특성 이미징을 수행함으로써 FA, QA 및 QC 엔지니어가 수행하는 광범위한 대형 샘플 작업에 이상적입니다.

 

optimized-wide-range

 

 

Park NX20 300mm Specifications

Scanner

Z Scanner

Guided high-force flexure scanner

Scan range : 15 µm (optional 30 µm)
Height noise level : 30 pm
(RMS, at 0.5 kHz bandwidth)

XY Scanner

Single module flexure XY-scanner with dual servo closed-loop control

Scan range : 100 µm × 100 µm

 

Stage

Z stage range : 25 mm (Motorized)
Focus travel range : 8 mm (Motorized)
XY stage travel range : 300 mm x 300 mm (Motorized)

 

Sample Mount

Sample size : 100, 150, 200, 300 mm wafers, small sample Magnetic sample holder, thickness up to 20 mm
Sample weight : < 500 g

 

Optics

10x (0.23 NA) ultra-long working distance lens (1 µm resolution)
Direct on-axis vision of sample surface and cantilever
Field-of-view : 840 × 630 µm (with 10× objective lens)
CCD : 5 M pixel

 

Software

SmartScan™

Dedicated system control and data acquisition software
Auto mode, Manual mode
Program mode for recipe-automated, sequential multiple-site measurement AFM operation

XEI

AFM data analysis software

 

Electronics

Integrated functions
4 channels of flexible digital lock-in amplifier
Digital Q control


Signal processing
  • ADC : 18 channels 4 high-speed ADC channels 24-bit ADCs for X, Y and Z scanner position sensor
  • DAC : 17 channels 2 high-speed DAC channels 20-bit DACs for X, Y and Z scanner positioning
  • Maximum data size : 4096 x 4096 pixels

External signal access
20 embedded signal input/output ports
5 TTL outputs : EOF, EOL, EOP, Modulation, and AC bias
 

AFM Modes
(*Optionally available)

Standard Imaging

True Non-Contact AFM
PinPoint™ AFM
Basic Contact AFM
Lateral Force Microscopy (LFM)
Phase Imaging
Tapping AFM

Force Measurement

Force Distance (F/d) Spectroscopy
Force Volume Imaging

Dielectric/Piezoelectric Properties

Electric Force Microscopy (EFM)
Dynamic Contact EFM (EFM-DC)
Piezoresponse Force Microscopy (PFM)
PFM with High Voltage*

Mechanical Properties

Force Modulation Microscopy (FMM)
Nanoindentation*
Nanolithography*
Nanolithography with High Voltage*
Nanomanipulation*

Magnetic Properties*

Magnetic Force Microscopy (MFM)
Tunable Magnetic Field MFM

 

Electrical Properties

Conductive AFM (C-AFM)*
IV Spectroscopy*
Kelvin Probe Force Microscopy (KPFM)
Scanning Capacitance Microscopy (SCM)*
Scanning Spreading-Resistance Microscopy (SSRM)*
Scanning Tunneling Microscopy (STM)*
Photo Current Mapping (PCM)*

Chemical Properties*

Chemical Force Microscopy with Functionalized Tip
Electrochemical Microscopy (EC-AFM)

 

AFM Options

Customize your AFM to handle any project

Active Temperature Controlled Acoustic Enclosure

Innovative control design allows Park NX20 300mm to quickly reach temperature equilibrium Park NX20 300mm also features active vibration isolation.

Active Temperature Controlled Acoustic Enclosure

Innovative control design allows Park NX20 300mm to quickly reach temperature equilibrium Park NX20 300mm also features active vibration isolation.


Encoders for Motorized Stage

• The encoded XY stage travels in 1 µm resolution with 2 µm repeatability
• The encoded Z stage travels in 0.1 µm resolution with 1 µm repeatability

Sample Plates

• Dedicated small sample holder for electrical measurements
• Vacuum grooves to hold wafers



Temperature Control

· Temperature Controlled Stage 1:  -25 °C to +170 °C
· Temperature Controlled Stage 2:  Ambient to +250 °C
· Temperature Controlled Stage 3:  Ambient to +600 °C


Park NX20 300 mm