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    NX20 300 mm
    原子間力顕微鏡
    ウェーハ測定及び分析のための
    自動化ナノ測定装置

Park NX20 300mm

ウェーハ測定及び分析のための自動化ナノ測定装置

Park NX20 300 mmは、300 mm X 300 mmのサイズの計測を完全自動化させた業界初の大型サンプル向け原子間力顕微鏡(AFM)です。 新しくアップグレードされたPark NX20のシステムは、故障解析や品質管理における研究のために設計され、 手間のかかるサンプルの交換作業もなしに300 mmのウェーハ全体をより効率的に検査できます。Parkの革新的な防振技術は、 実際の騒音水準を0.5 Å、もしくは0.3 Å RMS未満で維持させます。検証されたAFMの性能とワンクリック自動測定機能により、 サンプル毎のパラメータ調整の必要性をなくしたことで、操作工程においてより効率的でユーザーに優しい仕組みになっております。

弊社独自のSmartScan計測インターフェイスにより、300 mm X 300 mmの領域全面において、 安定的で再現性の高い連続自動多点計測を簡単に実現できます。大型試料を扱うFA, QA及びQCエンジニアにとって、Park NX20 300 mmは最適の装置です。

カタログ

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大型ウェーハ研究のために特別製作

NX20 300 mmは、大型サンプルを最適に測定できるよう設計されました。低ノイズAFM測定を通して、300 mmウェーハの領域全体を分析することができます。 これにより、まったく新しい自動化測定の可能性が広がり、ユーザーはよりシンプル、且つ迅速に、そして精度の高い作業を叶えられます。

 

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フレキシブル300mm サンプルチャック

Park NX20 300 mmの真空チャックは、ユーザーが実際に精密なスキャンを行えるようウェーハのサイズ、形や種類を幅広くサポートします。

 

300 mm XYステージ

電動300 mmXYステージにより、ユーザーはAFMでの測定位置を300 mmエリア全体で自由に動かすことができます。

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300 mm サンプルステージを搭載した確かな性能を持つNX20

NX20は正確性に妥協せず、 唯一無二の高い操作性と自動化機能が搭載されているため、 FA、QA及びQCエンジニアにとってベストなチョイスです。300 mm自動XYステージをサポートする強化されたプラットフォームを持ったNX20 300 mmは、 ユーザーが大型試料を非常に正確で簡単に研究できるよう、さらなる進化を遂げています。

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Park SmartScan™により正確な測定を簡単に

Park NX20には、SmartScan™オペレーティングソフトウエアが搭載されているため、市場において最も操作が簡単なAFMのひとつとなりました。 直観的でありながらも、非常に強力なインターフェイスにより、教育を受けていないユーザーでも、指導なしに大型サンプルをすばやくスキャンが可能です。 これにより、専任研究員はより大きい問題を解決し、より優れたソリューションを開発することに集中できます。

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a300mmウェーハ全面を多方面から計測

SmartScan™のモードにより、自動多点計測が可能となり、グリッドやウェーハベースモードを用いることで、各サイト間やサンプル間の表面形状、高さ、 表面の粗さを比較することができます。これにより、大型サンプルを計測する際の利便性及び生産性を大きく向上させることができます。

b強力なジョブ製作

弊社の簡単なジョブ製作プロセスを通し、定義された各バッチの位置、名称、ナンバーやタイプを事前に設定ができます。

 

幅広い応用分野に対する最適化

NX20 300 mmには、進化した測定及び分析機能をナノスケールで実現できる自動AFM測定法が搭載されており、 熱特性やナノ機械特性イメージング機能、欠陥レビュー、電気及び磁気故障解析も兼ね備えています。 粗さ、高さ及び深さの測定ができるAFMは、幅広い大型サンプルを扱う作業に理想的な装置です。

 

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Park NX20 300mm 仕様

スキャナ

Z スキャナ

フレクチャーガイド式高力スキャナ

スキャン範囲:15 µm (オプションにて30 µm)
ハイト(高さ)ノイズレベル:30 pm
(RMS, 帯域幅にて0.5 kHz )

XY スキャナ

クローズドループ制御付きシングルモジュールのフレクチャー式XYスキャナ

スキャン範囲:100 µm × 100 µm

 

ステージ

Zステージ駆動距離:25 mm(電動)
フォーカスステージ駆動範囲::8 mm(電動)
XYステージ駆動範囲:300 mm x 300 mm(電動)

 

サンプル

サイズ:100, 150, 200, 300 mm ウェハー、小型サンプル マグネットサンプルホルダー、厚さ20 mmまで
重量 : < 500 g

 

光学系

10x (0.23 N.A.) ウルトラロングワーキングディスタンスレンズ(分解能:1µm)
サンプル表面とカンチレバーの直上観察対物レンズ
視野:840 × 630 µm (10x対物レンズ使用の場合)
CCDピクセル: 5 M ピクセル

 

ソフトウェア

SmartScan™

AFMシステム制御、およびデータ取得ソフトウェア
オートモード、マニュアルモード
プログラムモードによるレシピ自動化、マルチサイト順次測定AFM操作

XEI

AFMデータ解析ソフトウェア

 

エレクトロニクス

内蔵機能

デジタルロックインアンプ4チャンネル
デジタルQコントロール


信号処理

  • ADC:18チャンネル 4つの高速ADCチャンネル X、Y、Zスキャナ位置センサー用24ビットADC
  • DAC:17チャンネル 高速DAC 2チャンネル 20ビットDAC X、Y、Zスキャナ位置決め用
  • 最大データサイズ:4096 x 4096 ピクセル

外部信号アクセス

組込み信号入出力20ポート
TTL出力5系統:EOF, EOL, EOP, モジュレーション、ACバイアス

 

AFMモード
(*オプションにて可能)

スタンダードイメージング

真のノンコンタクト™ AFM
PinPoint™ AFM
コンタクトAFM
水平力顕微鏡(LFM)
位相イメージング
タッピングAFM

力測定

フォースディスタンス(F/d)スペクトルスコピー
フォースボリュームイメージング

誘電・圧電特性

静電気力顕微鏡(EFM)
Dynamic Contact EFM (EFM-DC)
圧電応答力顕微鏡(PFM)
高電圧PFM*

機械特性

フォースモジュレーション顕微鏡(FMM)
ナノインデンテーション*
ナノリソグラフィー*
高電圧ナノリソグラフィー*
ナノマニピュレーション*

磁気特性*

磁気力顕微鏡(MFM)
チューナブルMFM

 

電気特性

コンダクティブAFM(C-AFM)*
IVスペクトルスコピー*
ケルビンプローブフォース顕微鏡(KPFM)
走査型キャパシタンス顕微鏡(SCM)*
走査型拡がり抵抗顕微鏡(SSRM)*
走査型トンネリング顕微鏡(STM)*
フォトカレントマッピング(PCM)*

化学特性*

化学力顕微鏡(機能化チップ付)
EC-AFM

 

AFMオプション

あらゆるプロジェクトに対応できるよう、AFMをカスタマイズ

アクティブ温度制御アコースティックエンクロージャー

革新的な制御設計により、Park NX20 300mmは素早く温度平衡に達することができます Park NX20 300mmは、アクティブ防振も備えています。


電動ステージ用エンコーダ

• エンコードされたXYステージは、1 µmの分解能で2 µmの繰り返し精度で移動します。
•エンコードされたZステージは、0.1 μmの分解能で1 μmの再現性で移動します。

サンプルプレート

• 電気測定専用小型サンプルホルダー
• ウェハーを保持するための真空溝



温度制御

温度制御ステージ 1:-25 °C ~ +170 °C °C
温度制御ステージ 2:常温 ~ +250 °C
温度制御ステージ 3:常温 ~ +600 °C


Park NX20 300 mm