研究用AFM電気測定#2 EFM/KPFM - 2020年10月16日
SPEAKERS
  • 後藤 千絵
    パーク・システムズ・ジャパン株式会社技術部 分析チーム
Authors
後藤 千絵

今回のパーク・システムズ NanoAcademyは、研究用電気測定＃２で、前回のEFM,KPFMの続きとなります。前回のお話も含めて説明させていただきますので、今回が初めてという方もどうぞご参加ください。

メインは、新しくリリースされたSideBand FM方式のKPFMについてです。特に新しい手法である、サイドバンド・ケルビンプローブフォース顕微鏡（KPFM）は、従来のリフトモードや他のKPFMメソッドに比べ、高い分解能と感度の向上でトポグラフィーと表面電位の同時イメージングを実現します。この手法では、カンチレバーの共振でトポグラフィーが検出され、カンチレバーの共振周波数から数kHz離れた測波帯の周波数でKPFM信号が検出されます。これにより、両方の信号を同時に測定できるため、取得時間を大幅に短縮しながら、表面電位イメージングの感度を向上させることができます。

このウェビナーでは、これまでのAM-KPFMと検出感度や分解能の違いを比較しながら、弊社独自のノンコンタクトモードのメリットを存分に活かした測定方法や動作原理について説明させていただきます。
×