パーク・システムズ#6 研究⽤AFM: C-AFM, Pinpoint C-AFM
SPEAKERS
  • 後藤 千絵
    パーク・システムズ・ジャパン株式会社技術部 分析チーム
Authors
後藤 千絵

2021年のウェビナー第一弾は、「コンダクティブAFM」と「Pinpoint モードとコンダクティブAFMの組み合わせ」についてご紹介をします。

コンダクティブAFMは、半導体デバイス、導電性高分子、ナノダイバーなどの様々は試料の電気特性評価やメモリデバイスの性能チェックと欠陥故障解析、 太陽電池のエネルギー変換効率研究、誘電破壊電圧測定、I-Vスペクトロスコピーといったアプリケーションがあります。 高性能アンプと導電性の探針によって、探針と試料の間の微小領域に流れる低電流測定が可能となります。

また、Pinpointモードとの組み合わせによって、電気特性と機械特性が同時にマッピング可能です。
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