AFM Webinar - PinPoint 모드를 이용한 시료의 나노 기계적 특성 평가
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오예진 연구원
Park Systems Corp., Suwon, Republic of Korea
- 오예진 연구원은 신소재공학 학사 및 물리학 석사 학위를 취득하였으며, 주요 연구 분야는 산화물 반도체 제작 및 물성 평가로, 주로 엘립소미터를 활용한 광학적 특성을 분석하였습니다. 현재 파크시스템스 본사 Application Technology Center의 Application Scientist로 AFM 측정, 테스트, 모드 개발 등 다양한 활동에 참여하고 있습니다.
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- 오예진 연구원
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AFM(Atomic Force Microscopy)은 탐침과 시료 표면 원자 간의 상호작용력을 이용하여 시료 표면의 형상 뿐만 아니라 전기적, 자기적, 기계적, 광학적 및 열적 특성들을 관찰할 수 있게 해줍니다. 이처럼 다양한 범위의 특성을 나노 스케일에서 측정하기 때문에 AFM은 현재 여러 분야에 널리 활용되고 있습니다.
파크시스템스의 PinPoint 모드는 시료의 표면 형상과 함께 물질의 다양한 기계적 특성을 측정할 수 있어, 관련 연구 분야에 널리 활용되고 있습니다.
PinPoint 모드는 force-distance spectroscopy (탐침을 시료 표면에 접촉시켰다 떨어뜨리며 탐침과 시료 간의 상호 작용 측정)를 기반으로 하는 측정 모드로 시료 표면의 국소 영역에 대한 stiffness, adhesion, Young’s modulus 등의 기계적 특성을 이미지화 할 수 있습니다.
또한 Conductive AFM (C-AFM), Piezoelectric Force Microscopy (PFM) 등의 응용 모드와 결합하여 시료의 기계적 특성과 더불어 전기적 특성을 함께 측정할 수 있습니다.
이번 웨비나에서는 PinPoint 모드의 이론과 측정 방법, 정량적인 modulus 값을 얻기 위한 calibration 방법, PinPoint C-AFM, PinPoint PFM을 이용하여 측정한 이미지들을 소개할 예정이니 많은 관심과 참가 바랍니다.
*언어: 한국어
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