网络讲座: 原子力显微镜在半导体领域的应用
SPEAKERS
  • 林宏旻
    Park原子力显微镜
Authors
林宏旻
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讲座摘要：



利用探针描绘出样品细微轮廓，实现纳米至毫米横向尺度下，纳米至埃米等级之纵向解析力。此外，凭借着优异的纳米操控，以探针扫描出电流分布图，确认电性缺陷位置，再进一步取得IV曲线与表征分析，用以判定缺陷种类。


  随着半导体芯片技术进展，元器件特征尺寸横向微缩的同时，对于元器件纵向维度上的微缩、堆叠与平坦化控制也随之日趋重要，相关线上制程监控也越来越重要。传统量测仪器面对于纵向维度上制程监控需求正面临着挑战，然而原子力显微镜因其优异的纵向解析度与灵敏度，近年来也获得越来越多的关注。本文介绍原子力显微镜于现今半导体芯片制程技术的量测应用，以及其未来展望与挑战。

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