FX40 with monitor

Park SmartScan™

すべての人にAFMテクノロジーのパワーと多様性を

Park SmartScan™は、パーク・システムズのAFM向けの革新的なオペレーティングソフトウエアです。自動モードにより、初心者でもマウスを3回クリックするだけで高品質のナノスケールイメージングが可能です。SmartScan™マニュアルモードでは、熟練したユーザーにも満足していただけるよう、すべての機能や必要な手段を提供しています。SmartScan™は、汎用性と使いやすさ、そして品質の高さを兼ね備えた最高のAFMオペレーティングソフトウエアです。

パワーとシンプルの組み合わせ

ほとんどのAFMは複雑な操作が伴います。Park SmartScan™を使えば、そのような煩わしさはありません。必要な操作はたった3回のクリックのみです。アニメーションによるセットアップの仕方の説明も非常にわかりやすくなっています。また、システムの幅広い機能とパラメータ設定により、より詳細な制御や設定も可能です。

AFMシステムを起動させてからの動作は次の通りです。

  • 1. Setup をクリックします。

    小さなウィンドウが現れ、装置設定の仕方やイメージングを行うためのサンプル 配置の方法をアニメーションで説明します。これには通常、数分しかかかりません。

    1. Setup をクリックします。
  • 2. Position をクリックします。

    システムは、カンチレバーの周波数スイープを自動的に実行し、Zステージをサンプルに近づけます。サンプルに自動的にフォーカスし、ユーザーが観察したい領域に移動できるようナビゲートします。

    2. Position をクリックします。
  • 3. Image をクリックします。

    最適な条件に必要なすべてのパラメータ設定を行い、カンチレバーを使ってサンプルのスキャンを開始します。イメージングが終了するまで動作を続けます。

    3. Image をクリックします。
  • 終了

    カンチレバーがサンプルから離れ、次のサンプル測定ができるようになります

    終了

Park SmartScanは、時間を節約するソリューションを提供します。

SmartScan Autoは、イメージングに必要なすべての操作を自動で行い、最適な画質とスキャン速度をインテリジェントに決定します。これは、Parkの独自技術により可能になったものであり、時間と費用を節約し、より良い最終結果をもたらします。

使いやすいUX

スマートスキャンUIとレイアウトにより、すべてが指先にあります。大きな光学ウィンドウにより、レーザー反射、チップ、サンプル、レーザーPSPDアライメント、XYステージおよびZステージの動きを簡単に確認および操作できます。また、マウスのスクロールでビジョン、XYステージ、Zステージ、光の強さなどを簡単に制御できます。一度に最大8つの個別のトレースライン(例:トポグラフィー、EFM、振幅、スキャン速度)をコマンドし、カスタムトレースラインプロファイルを便利に保存できます。ユーザーはまた、同じリアルタイムの二軸グラフに任意の2つの信号チャネルをプロットし、包括的な分析を行うことができます。

FastApproach™

ボタンをクリックするだけで、Zスキャナーが自動的にサンプルに近づき、従来の手動アプローチよりもはるかに高速で動作します。パークのユニークなFastApproach™は、ユーザーの介入を必要とせずに、プローブを最大速度で安全にサンプル表面まで下ろし、カンチレバーをロードしてからわずか10秒で作動します。

関心領域の簡単な発見

プローブが表面に接触した後、光学カメラが自動的にサンプルに焦点を合わせ、関心領域(ROI)を見つけます。スマートスキャン™のUXは、統合された光学ウィンドウでモーター駆動ステージを制御することで、サンプルの直感的なナビゲーションを簡単に行えるようにします。光学ウィンドウで目的の位置をクリックするだけで、ROIに直接移動できます。

SmartScan™オートモードによるワンクリックイメージング

AFMイメージングに必要なのは、ピクセル密度とスキャンサイズの指定だけです。それ以外の複雑なAFMパラメータはすべてSmartScan™のオートモードに任せることができます。システムはボタンをクリックするだけで、イメージングに最適な条件で自動的に測定を開始します。

AdaptiveScan™によるイメージングの高速化

パークの革新的なAdaptiveScan™は、サンプル表面のピークと谷に基づいてスキャン速度を自動的に制御します。AdaptiveScan™は、未知の形態の高品質な画像をより高速で取得するために、最適なスキャン速度を動的に調整します。これにより、熟練した専門家が手動で得ることができるトップクラスの画像品質を維持しながら、イメージング時間が効果的に短縮されます。隣接する場所に移動したり、ターゲットにズームインしたりすると、AdaptiveScanが自動的に新しい最適な条件を適用します。