StepScanでは、ユーザーが複数のエリアのイメージングが行えるように、装置に素早く且つ簡単にプログラムが行えます。NX-Hivac型では、スキャン、カンチレバーのリフト、ユーザーの設定した座標まで電動ステージの移動、アプローチをする及び繰り返す、というわずか5ステップでスキャンを行えます。これにより、生産性を非常に向上させると同時にユーザーの入力を最小限にします。

Parkの電動レーザービームアライメント機構により、ユーザーの入力無しでそのまま自動計測ルーティンを継続できます。Park社の最先端のプリアラインされたカンチレバーホルダーを使用することで、交換されたカンチレバー上にレーザービームがフォーカスされます。それから電動ポジションノブによってレーザースポットは、X及びY軸方向に沿って最適化されます。

NX-Hivac型は、低ノイズXYスキャナーによりその往復スキャンにおいて0.15%という最小誤差の性能を持つと同時に、Park AFMが業界をリードする低ノイズZ検出器を装備し、正確な試料形状の計測が行えます。

試料走査用クローズドループXYスキャナーとプローブ走査用 クローズドループZスキャナーーが分離している為に、非常に正確にスキャンを行うことができます。NX-Hivac型は、ボウイングエラーが小さく平坦且つ直交動作のXYスキャナーにより、全スキャン範囲において1nm未満の平坦動作が可能です。NX-Hivac型は、15μmのスキャンレンジで0.5%のノンリニアリティのZスキャナーを装備します。これにより、ユーザーがソフトウエアによる画像処理をしなくても、正確な2D及び3D測定が行えます。

NX-Hivac型は、トレードマ―クのNXシリーズ コントローラにより不必要な時間を最小にして、正確性を最大にすることができます。このコントローラは、ノンコンタクトモードを含む広範囲な計測モードを可能にした、全デジタル制御の24-bit高速デバイスです。低ノイズ設計と高速処理機構により、ナノスケール イメージングと同様に高分解能による電圧及び電流計測も可能です。内蔵エレクトロニクスのデジタル処理機能により、計測データや画像データを簡単に解析できます。