Park NX7
学術研究におけるアクセシブルなナノメトロロジー
Park NX7は、アクセシブルなナノスケール研究向けの小型原子間力顕微鏡（AFM）です。卓上型のため、特に教育環境やスペースに制約のある実験室に適しており、信頼性と解像度に優れたイメージングを行います。
NX7の中核をなすのは、Park独自の直交スキャンシステムとTrue Non-contact™（完全非接触）モードが採用されています。これらの革新技術により、横方向のモーションアーチファクトを実質的に排除すると同時に、探針とサンプルを保護します。これらの技術を組み合わせることで、最も繊細で取り扱いが難しい試料でも、アーティファクトのない高解像度のイメージングが可能になります。
材料科学、ポリマー、バイオエンジニアリングまで、NX7は堅牢な性能と高い信頼性を提供し、先端ナノスケールメトロロジーのための確かなプラットフォームとして選ばれています。
NX7の中核をなすのは、Park独自の直交スキャンシステムとTrue Non-contact™（完全非接触）モードが採用されています。これらの革新技術により、横方向のモーションアーチファクトを実質的に排除すると同時に、探針とサンプルを保護します。これらの技術を組み合わせることで、最も繊細で取り扱いが難しい試料でも、アーティファクトのない高解像度のイメージングが可能になります。
材料科学、ポリマー、バイオエンジニアリングまで、NX7は堅牢な性能と高い信頼性を提供し、先端ナノスケールメトロロジーのための確かなプラットフォームとして選ばれています。
特長
優れたNXの機械設計
NX7は、XYスキャナーとZスキャナーの性能を向上させた設計を採用しています。高速なZサーボにより迅速な垂直方向の応答を実現し、Z軸スキャンの直進性を改善することで、正確なイメージングを可能にします。また、XYスキャナーにより、スキャン中の精密な位置制御を実現します。
Z検出器の低ノイズ性能もNX7の大きな特長です。積層型圧電アクチュエーターとひずみゲージセンサーにより、高精度と極めて低いノイズレベルを両立し、信頼性の高い測定を実現します。
これらの技術的特長により、NXシリーズは先進的なAFM研究に求められる安定性と精度を備えたプラットフォームを提供します。
Z検出器の低ノイズ性能もNX7の大きな特長です。積層型圧電アクチュエーターとひずみゲージセンサーにより、高精度と極めて低いノイズレベルを両立し、信頼性の高い測定を実現します。
これらの技術的特長により、NXシリーズは先進的なAFM研究に求められる安定性と精度を備えたプラットフォームを提供します。
高速Zサーボと高分解能
Park NXシリーズの画像解像度がさらに向上しました。積層ピエゾアクチュエータとストレインゲージセンサーを備えたNX Zスキャナーは、さまざまな表面で高速かつ高精度な測定を実現します。極めて平坦な試料から粗いものまで、スキャンサイズに関係なく、一貫した粗さの直線性を維持し、あらゆる測定で信頼性の高い結果を保証します。
NXレーザービームパス
NXヘッドは、低コヒーレンスの照明を提供するスーパールミネッセントダイオードを内蔵し、干渉を最小限に抑え、安定した信号検出を実現します。レーザービームは精密ミラーを介してカンチレバーと位置検出型光検出器（PSPD）に導かれ、正確な信号位置合わせを保証します。
ノブ操作によりレーザービームをX軸およびY軸方向へ直接移動でき、ビーム位置を直感的に調整できるほか、プローブ交換時の再アライメントもスムーズに行えます。
ノブ操作によりレーザービームをX軸およびY軸方向へ直接移動でき、ビーム位置を直感的に調整できるほか、プローブ交換時の再アライメントもスムーズに行えます。
取り付け済みのプローブ
AFMのプローブ交換は、経験豊富なユーザーにとっても困難な場合があり、破損につながることも少なくありません。Park AFMは、事前に位置合わせされたプローブチップキャリアとキネマティックマウントポイントを使用することで、信頼性が高く一貫したチップの位置決めを実現します。
NXヘッドのZスキャナーには、キネマティックマウント用の3つの精密ボールが搭載されており、ベース部のマグネットにより、確実で信頼性が高く、再現性のあるマウント位置を確保します。
NXヘッドのZスキャナーには、キネマティックマウント用の3つの精密ボールが搭載されており、ベース部のマグネットにより、確実で信頼性が高く、再現性のあるマウント位置を確保します。
改善されたZスキャンの直進性
Park NXシリーズZスキャナーは、使用可能範囲全体で0.1%以内の真直度を維持し、15μmの最大伸長時でも軸外方向の動きは5nm未満です。
予圧スプリング、キネマティックピン、ピエゾアクチュエーターを組み合わせたコンパクトな構造は、ドリフトを最小限に抑え、信頼性が高く歪みが生じないナノスケール測定のための正確な垂直運動を保証します。
予圧スプリング、キネマティックピン、ピエゾアクチュエーターを組み合わせたコンパクトな構造は、ドリフトを最小限に抑え、信頼性が高く歪みが生じないナノスケール測定のための正確な垂直運動を保証します。
同軸光学顕微鏡
高出力の軸上光学顕微鏡により、試料表面を鮮明に観察できます。ソフトウェア制御のLED光源が試料表面を照らし、観察性を向上させます。
Park AFMテクノロジー
直交スキャン
チューブスキャナーを備えた従来のAFMは、面外方向の運動と軸のクロストークの影響を受け、特に広いスキャンエリアでは画像の歪みが生じます。 NX7は、すべてのPark AFMと同様に、フレクシャガイド式アーキテクチャを採用した高度な直交スキャンシステムを搭載しています。2Dフレクシャスキャナーが試料をXY平面内で移動させ、独立した1DフレクシャスキャナーがプローブのZ軸の運動を制御します。XYフィードバック用の低ノイズ光学センサーとZ制御用の超低ノイズひずみゲージセンサーを備えた分離型スキャナーシステムにより、面外方向の動きを最小限に抑え、高い直交性と直線性を持つスキャンと高速な動的性能を実現します。
XYスキャナは、積層ピエゾアクチュエーターとフレクシャーヒンジ構造を採用することで、垂直干渉のないフラットで純粋な水平運動を実現するように設計されています。ポジションセンサーはスキャナーの中央に配置され、サーボ制御に対する直接的なフィードバックを提供し、スキャンエリア全体の位置決め誤差を最小限に抑えます。この設計により、大きな試料をスキャンする場合でも、一貫した精度と安定性が確保されます。
Park AFMテクノロジー
True Non-Contact™（完全非接触）モード
NX7は、Park Systemsが独占的に提供する独自のテクノロジーであるTrue Non-Contact™（完全非接触）モードを備えています。True Non-contact（完全非接触）モードは、AFM先端と試料表面間の引力であるファンデルワールス力を検出することで地形を取得します。
