Park FX40
나노 과학 기술 연구의 새로운 시대를 여는 획기적인 원자현미경
FX40는 AI와 로보틱스 기술을 더해, 새로운 차원의 자동화와 정확도, 편리성을 갖춘 원자현미경으로 나노 기술의 발전에 기여할 수 있는 계측 장비입니다.
탐침(Probe)을 수동으로 장착하고 설정하는 기존의 방식과 달리, 별도의 카메라가 추가되어 Auto Probe Exchange에서 탐침의 위치와 종류를 자동으로 인식하고 선택∙장착할 수 있습니다.
뿐만 아니라, 실험 준비 단계[레이저 빔(Laser Beam)을 탐침에 정렬하고 광 검출기(Position Sensitivity Photo Detector, PSPD)에 최적화되도록 조정]를
자동화함으로써 사용자들이 전문적인 장비 교육에 대한 부담 없이 연구에 집중할 수 있도록 도와줍니다.
또한 FX40에 구현되어 있는 안전기능은 실험 도중에 발생할 수 있는 예기치 않은 상황에서도 실험이 중단되지 않도록 시료와 탐침의 손상을 방지해 줍니다.
FX40는 AI와 로보틱스 기술을 더해, 새로운 차원의 자동화와 정확도, 편리성을 갖춘 원자현미경으로 나노 기술의 발전에 기여할 수 있는 계측 장비입니다.
탐침(Probe)을 수동으로 장착하고 설정하는 기존의 방식과 달리, 별도의 카메라가 추가되어 Auto Probe Exchange에서 탐침의 위치와 종류를 자동으로 인식하고 선택∙장착할 수 있습니다.
뿐만 아니라, 실험 준비 단계[레이저 빔(Laser Beam)을 탐침에 정렬하고 광 검출기(Position Sensitivity Photo Detector, PSPD)에 최적화되도록 조정]를
자동화함으로써 사용자들이 전문적인 장비 교육에 대한 부담 없이 연구에 집중할 수 있도록 도와줍니다.
FX40 Product Video
Brochure
탐침(Probe)을 수동으로 장착하고 설정하는 기존의 방식과 달리, 별도의 카메라가 추가되어 Auto Probe Exchange에서 탐침의 위치와 종류를 자동으로 인식하고 선택∙장착할 수 있습니다. 뿐만 아니라, 실험 준비 단계[레이저 빔(Laser Beam)을 탐침에 정렬하고 광 검출기(Position Sensitivity Photo Detector, PSPD)에 최적화되도록 조정]를 자동화함으로써 사용자들이 전문적인 장비 교육에 대한 부담 없이 연구에 집중할 수 있도록 도와줍니다.
또한 FX40에 구현되어 있는 안전기능은 실험 도중에 발생할 수 있는 예기치 않은 상황에서도 실험이 중단되지 않도록 시료와 탐침의 손상을 방지해 줍니다.
AI 로보틱스 기술을 통해 가장 진보된
원자현미경
한 번의 클릭으로 탐침을 자동으로 변경하고 교체함으로써
사용자의 숙련도에 따른 손상이나 오류를 방지할 수 있습니다.
또한 인식과정을 통해 탐침의 사양과 모델을 알려주어 사용자의 선택을
도와줍니다.
Auto Probe Exchange
탐침이나 칩 캐리어를 손으로 탈부착하는 기존의 방식과 달리, SmartScan의 자동 탐침 교체 기능을 이용하여 8개의 탐침이 들어 있는 카세트를 Auto Probe Exchange에 장착하는 것만으로도 오래되거나 손상된 탐침을 쉽고 안전하게 교체할 수 있습니다.
Auto Probe Reading
탐침 식별 카메라는 SmartScan을 통해 카세트에 장착된 모든 탐침을 인식해 각각의 모델과 제품 사양 등 필요한 정보를 제공하여 사용자가 가장 적절한 탐침을 선택할 수 있도록 지원합니다.
Auto Beam Alignment
FX40의 진보된 설계는 SmartScan을 통해 한번의 클릭만으로도 탐침의 종류에 따라 레이저빔이 탐침의 적절한 위치에 오도록 조절하고, 반사된 레이저 빔이 광검출기(PSPD)에서 최적의 민감도를 가지도록 정렬합니다.
시료위치와 탐침을
자동으로 연결
Play Video
시료 식별 카메라
사용자는 시료 식별 카메라의 넓은 시야를 이용해 4개의 시료 중 측정하고자 하는 시료와 관심 영역을 손쉽게 선택할 수
있습니다. SmartScan에서 관심 영역을 클릭하면 탐침이 해당 위치로 이동해 측정 준비를 마치게 됩니다.
Play Video
탐침 식별 카메라
탐침 식별 카메라는 개별 탐침의 모델과 제품 스펙 등 필요한 정보를 인식하고, 버튼 클릭으로 사용자가 원하는 탐침을 선택할 수
있도록 합니다.
Play Video
시료 식별 카메라
사용자는 시료 식별 카메라의 넓은 시야를 이용해 4개의 시료 중 측정하고자 하는 시료와 관심 영역을 손쉽게 선택할 수
있습니다. SmartScan에서 관심 영역을 클릭하면 탐침이 해당 위치로 이동해 측정 준비를 마치게 됩니다.
Play Video
탐침 식별 카메라
탐침 식별 카메라는 개별 탐침의 모델과 제품 스펙 등 필요한 정보를 인식하고, 버튼 클릭으로 사용자가 원하는 탐침을 선택할 수
있도록 합니다.
머신러닝으로
더 스마트해진 FX40
FX40는 머신러닝을 사용하여 탐침이 올바르게 배치되었는지 자동으로 감지합니다. 스마트 비전은 로드 된 탐침의 위치를 나노 수준으로 찾고 필요한 경우 오류 상태 보고서를 생성합니다. 또한 소프트웨어 업데이트를 통해 지속적으로 업그레이드되는 수만 개의 시뮬레이션 문제와 데이터를 즉시 비교합니다.
진보된
True Non-contact Mode의
자동화와 정확성
True Non-contact Mode는 시료와 탐침의 간격을 나노미터 이하까지 실시간으로 정밀하게 제어해야 하며,
이를 통해 탐침과 시료를 안전하게 보호합니다.
FX40는 어떤 원자현미경보다도 정밀한 제어로 True Non-contact Mode를 구현합니다.
Safety Features
탐침 충돌 방지 안전 기능
탐침 충돌 방지 기능은 탐침의 움직임과 Z스캐너의 상태를 상시 감시하면서 Z 스테이지가 시료 표면과 탐침의 충돌 지점 아래로 내려가는 등 이상현상이 감지될 때, SmartScan에서 Z스테이지의 움직임을 자동으로 제어하는 역할을 합니다. 특히 새롭게 추가된 컨트롤러에서 강제로 움직임을 차단하는 기능은 컴퓨팅 환경에 따라 간헐적 소프트웨어 오류나 딜레이가 있을 경우에도 충돌에 의한 시료와 기기의 파손으로부터 안전하게 보호할 수 있습니다.
환경 조건 감지 센서
FX40는 온도, 습도, 수평, 진동과 같은 필수 환경 조건을 감지하고 저장합니다. SmartScan은 시스템 진단에 필수적인 환경 조건의 객관적 지표를 제공하며, 이를 통해 사용자의 측정 결과를 다른 환경 조건에서 얻어진 결과와 비교할 수 있게 됩니다.
자동 탐침 교체의 안정성
FX40의 Auto Probe Exchange는 단일 종류 탐침으로 구성된 카세트뿐 아니라, 사용자가 하나의 카세트에 다양한 종류의 탐침을 구성하고 SmartScan에서 시료 별 특성이나 측정
목적에 따라 다른 탐침을 선택해 사용하는 새로운 경험을 제공합니다.
머신 러닝 알고리즘은 잘못 놓인 탐침을 자동으로 판별하고 해당 탐침에 경고 신호를 표시해 자동 탐침 교체의 정확성과 안정성을 높여줍니다.
1. Setup
Auto Setting
애니메이션으로 안내되어 매뉴얼 없이도 쉽게 수행할 수 있는 자동 탐침 교체, 자동 레이저 빔 정렬 등을 설정하는 과정
2. Position
Sample Navigation
준비된 4개의 시료 중 측정할 시료를 선택해 관심 영역으로 이동한 후, Non-contact측정에 필요한 조건을 자동으로 찾아 빠르게 시료 표면에 접근하는 측정 준비 과정
3. Image
Dynamic Scanning
SmartScan은 측정에 필요한 최적의 조건을 자동으로 설정해 측정
Park FX40 Specs
Structure
▪ Single-module, parallel-kinematic 2D flexure scanner
▪ Better symmetry than serial-kinematic flexure scanner
XY scan range
▪ 100 µm x 100 µm
Structure
▪ Flexure-guided high-force scanner
▪ Better symmetry than serial-kinematic flexure scanner
Z scan range
▪ 15 µm
Mounting
▪ Magnetic holder (Max. 4 sample disc)
▪ FX Snap-in Sample Disk for Multi Snap-in Sample Chuck
Z stage travel range
▪ 22 mm (Motorized)
Vision path
▪ On-axis sample view from top
▪ The same view as an optical microscope
CCD
▪ 5.1 M Pixel
▪ Pixel size: 3.45 μm x 3.45 μm
Lock-in amp
▪ 4 channels integrated DC - 5 MHz
Accessories
Probe exchange
▪ Probe exchange in less than 1 minutes using Automated Probe Exchange
(No need to remove head to exchange cantilevers)
Probe mount
▪ Pre-aligned mount using chip carrier
